판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 4M #293601750
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ID: 293601750
빈티지: 2007
(2) Coater / (1) Developer system
Single end effector robot, 2"-4"
GENMARK Robot
Gas sensor cabinet
Chemical delivery tank pressure cabinet
CI Gas pressure regulator
Developer:
(2) Dispense arms
Plate stack
(4) Hot plates
Chill plate
Vapor prime chamber (Vacuum)
Coater 1 :
Process: BCB
(3) Wafertech resist pumps
Coater 2: (2) IWAKI Thin resist pumps
PC
Manuals
Spares
Power supply: 400 V, 3 Phase, 13 kVA, 60 Hz
2007 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma 4M은 포토 esist의 정확하고 정확한 개발을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 현대의 나노 (nanofabrication) 및 광전자 (optoelectronic) 애플리케이션의 까다로운 요구 사항을 충족 할 수있는 컴팩트하고 견고한 포토리스토그래피 시스템입니다. MICROTEC Gamma 4M은 엑시머 레이저, 템플릿 생성기, 패턴 생성기, 직교 단계, 마스크 정렬 장치 및 계량 장치로 구성됩니다. 엑시머 레이저 (excimer laser) 는 MICROTEC 최신 레이저 플랫폼을 기반으로하며 최첨단 파장 제어 머신을 사용하여 노출 중 가장 높은 반복 성과 정확도를 제공합니다. "레이저 '의" 빔 프로파일' 은 매우 짧은 시간 내 에 균일 한 저항 구조 를 균일 하게 노출 시키도록 설계 되었다. 템플릿 생성기는 고해상도 LCD를 사용하여 SU-8, AZ-5214 및 고급 통합 구조와 같은 고급 마스크 패턴을 활성화합니다. LCD는 최첨단 해상도 (State-of-Art Resolution) 수준을 가능하게 하는 낮지만 매우 정확한 초점 깊이에 맞게 최적화되었습니다. 패턴 생성기는 광석판 촬영을위한 고정밀 및 서브 미크론 (sub-micron) 구조의 증착을 위해 특별히 설계된 레이저 작문 도구를 사용합니다. 직교 단계를 사용하면 [마스크 정렬] 및 패턴 생성기를 정확하고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 개발 과정에서 가능한 최고 해상도를 제공하며, 전체 포토레시스트 영역에서도 노출될 수 있도록 고정밀도, 높이 조절 가능한 디자인을 제공합니다. 마지막으로, 계량 자산은 KARL SUSS Gamma 4M의 모든 매개 변수가 필요한 표준 및 사양에 부합하도록 보장합니다. 감마 (Gamma) 4M 모델은 오늘날 시장에서 사용 가능한 가장 발전된 포토 esist 프로세스 중 하나를 제공합니다. 전문 나노 제작 및 광전자 실험실 (optoelectronic laboratories) 과 연구 개발 기관을위한 이상적인 선택입니다. 고해상도 레이저 쓰기 장비, 고급 LCD 화면, 높이 조절 가능한 Mask Aligner와 같은 기능을 제공함으로써 KARL SUSS/MICROTEC Gamma 4M은 현재 사용 가능한 가장 안정적이고 정밀한 포토레스 시스템 중 하나입니다.
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