판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9247695

KARL SUSS/MICROTEC Falcon은 마이크로 및 나노 전기 기계 시스템 (MEMS 및 NEMS) 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 내장 진공 장치 및 모듈 식 선반 장착 가능 광학 플랫폼이있는 3 축 스테이지로 구성됩니다. 0.6um 해상도의 디지털 Z축 스캐너 (Z축 스캐너) 와 최대 100nm 정확도와 반복성을 제공하는 고정밀 마이크로 누벡스 (micronuvex) 광학 머신이 장착되어 있습니다. 또한 정확도, 속도, 생산성을 높이기 위해 고속 레이저 웨이퍼 스크리버가 특징입니다. MICROTEC Falcon은 고속 전동 Z축을 사용하여 최대 5nm/s의 이동을 허용합니다. 터치스크린 사용자 인터페이스와 다국어 옵션을 갖춘 사용자 친화적입니다. 사용이 간편한 인터페이스는 다양한 사전 정의된 설정으로 빠른 속도 선택 (up/down speed selection) 을 제공하며 복잡한 3D 패턴을 프로그래밍할 수 있습니다. KARL SUSS Falcon (KARL SUSS Falcon) 은 두께가 균일한 두께로 두껍고 얇습니다. 내장 스핀 척 (spin chuck) 도구는 자동 상단/하단 코팅 기능으로 적절한 기판 높이로 자동으로 조정됩니다. 2축 웨이퍼 정렬 에셋의 정렬은 모든 깊이, 너비로 조정할 수 있습니다. 이 모델은 10-7 ~ 102 torr 범위의 다양한 진공 수준을 지원하여 고품질 프로세싱 및 장기 유지 관리를 지원합니다. 자동 진공 생성 (automatic vacuum generation) 은 최적의 진공 압력을 보장하는 반면, 내장 방화 장비는 단시간 변화를 방지하여 검류계의 작동을 유지합니다. "가스 '의" 쇼크' 흡수 장치 는 외부 의 근원 에 의해 생성 되는 진동 을 감소 시켜, 광저항 노출 과정 중 에 더 나은 정확도 를 갖게 해 준다. Falcon 은 CE 요구 사항을 모두 충족하는 최고의 안전 표준을 고려하여 설계되었습니다. 이 장치는 잠금/태그 아웃, 유해 재료 처리 및 EPA/OSHA 요구 사항과 같은 대부분의 표준 안전 프로토콜로 작동하도록 설계되었습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC Falcon은 마이크로 및 나노 전기 기계 시스템 산업의 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 설계된 다재다능하고 신뢰할 수있는 포토 esist 머신입니다.