판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9215560
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ID: 9215560
웨이퍼 크기: 8"
PI Coater, 8"
Operating system: Windows XP
I/O Robot movement: I/O Module
User interface:
Tri-color lamp tower
Audible alarm
Keyboard
Trackball
Wafer handling:
(4) Cassettes (Input port)
Handling robot
Pre-aligner
Coating module:
Arm movement
Chuck spin
Lift pin movement
Weight scale
Chemical dispense
Lift pin movement:
Temperature module
Cooling module
Utility:
N2: 3.5 bar
CDA: 4 bar
Vacuum
Power:
3 x 400 V
+6% - 10 %
+N + PE 50 Hz.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon은 사용자가 프로토 타입에 미크론 스케일 구조를 만들 수있는 고급 포토 esist 장비입니다. 초정밀 광석기 기술은 크기가 0.4 마이크로미터 (0.4 micrometer), 두께가 최대 50 미크론 (50 micron) 인 고해상도 기능을 생성 할 수 있습니다. MICROTEC Falcon의 고급 시스템에는 고해상도 사진 인쇄 장치, 전원 수집기, 가열 지원 단계, 스테이지 레벨링 머신, 마스크 정렬 도구와 같은 많은 기능이 있습니다. 포함된 사진 인쇄 에셋을 사용하면 크기가 0.4 미크론까지 정밀한 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. 전원 수집기 (Power Collector) 는 통합 장치로, 프로세스 전반에 걸쳐 노출/개발 수준이 일관되게 유지됩니다. 이 모델에는 통합 (integrated) 지원 단계도 포함되어 있어 최적의 품질 패턴을 보장하고 이미지 왜곡을 최소화합니다. 또한 스테이지 레벨링 (stage leveling) 장비를 사용하면 샘플 서피스에 걸쳐 마스크 요소의 정렬을 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 마스크 정렬 시스템 (mask-aligned system) 은 마스크 요소가 샘플 서피스에서 정확하게 정렬되도록 도와줍니다. KARL SUSS 팔콘 (KARL SUSS Falcon) 은 포토 esist 기능 외에도 기판에서 패턴을 에칭 및 금속화 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 응용 프로그램을 위해 유리, 테이프, 판금 (sheet-metal) 등 다양한 표면에 패턴을 전송할 수 있습니다. 에칭 및 금속 화 과정은 종종 리소그래피 (lithography) 와 결합하여 기판에 3 차원 구조를 생성하는 데 사용됩니다. 팔콘 (Falcon) 은 미크론 스케일 구조의 정확한 생성에 이상적인 고급 포토 리토 그래피 단위입니다. 고해상도 사진 인쇄, 전원 수집기, 가열된 지원 단계, 스테이지 레벨링 머신, 마스크 정렬 도구 등 다양한 기능을 통해 사용자가 왜곡을 최소화하면서 최적의 품질 (Quality) 패턴을 얻을 수 있습니다. 그것의 능력은 다양한 응용 프로그램을 위해 패턴을 다양한 기판으로 에치 (etch) 하고 메탈라이즈 (metallize) 하는 기능으로 포토리스 연주자를 넘어 확장됩니다.
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