판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9211225

KARL SUSS/MICROTEC Falcon은 고급 직접 이미징 및 웨이퍼 코팅 솔루션을위한 고성능, 유연한 광석판 장비입니다. 고급 로봇을 갖춘 사용자 친화적, 모듈식, 고도로 정교한 플랫폼으로 구성되어 있어 정밀한 정렬, 처리 순서 (full automation of processing sequence), 고밀도 (high-precision) 결과를 얻을 수 있습니다. MICROTEC Falcon 시스템은 최고 노치의 optic, laser 및 photo-optics를 사용하여 거의 완벽한 패턴을 25nm 이하로 생성하며 3 ~ 8 인치 직경의 일괄 처리 기판을 만들 수 있습니다. 포토 esist 코팅 웨이퍼를위한 업계 최고의 레시피는 엄격한 표준을 기반으로하며, 높은 처리량, 안정적인 생산, 손쉬운 재현성을 제공합니다. 이 장치에는 빔 블랭킹 검출을위한 고해상도 6 메가 픽셀 카메라와 이미지 처리, 웨이퍼 정렬, 입자 분석이 가능한 고해상도 비디오 현미경이 포함되어 있습니다. 자동 노출 베이는 전형적인 오버레이 균일성 (0.1-0.2 미크론 이상) 과 함께 포토 esist를 정확하고 일관되게 노출시킵니다. 통합 Opticron 정렬 단계는 7축 정렬 기계를 제공하는 반면, 샘플 도량형 (metrology) 도구는 매우 정확하고 안정적인 프로세스 창을 만듭니다. Nion 마이크로파 가속기 (Nion microwave accelerator) 는 업스트림 (upstream) 에 위치하여 높은 수준의 프로세스 개선이 필요하지 않으므로 프로세스 시간을 단축하고 해상도를 높일 수 있습니다. KARL SUSS Falcon 자산은 또한 3D 기능 감지, 스마트 암 기술 및 처리량을 최적화하는 웨이퍼 처리 시스템을위한 통합 자동화를 제공합니다. 마지막으로, 챔버 (chamber) 가 클린룸 환경 (cleanroom environment) 과 같은 민감한 재료를 처리하기 위해 최대한으로 표준화되도록 하는 연동은 제조 공정 (manufacturing process) 을 효율적이고 제어하는 데 도움이 됩니다. 팔콘 (Falcon) 모델은 스테인리스 스틸 플랫폼 (Stainless Steel Platform) 과 통합 로봇 장비로 업계 표준 포토레시스트 어플리케이션에 적합합니다. 최대 8 인치 크기의 기판을 처리 할 수있는 능력이며, 세계적으로 유명한 정확성 (Accuracy) 으로, 까다로운 포토 리스토그래피 응용 프로그램에 적합합니다.