판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #293652799

KARL SUSS/MICROTEC Falcon은 photomask 및 반도체 장치 생산을위한 고급 기능을 제공하도록 설계된 고성능 Photoresist (PR) 장비입니다. 이 시스템에는 드라이 필름 포토 esist, 스푼 온 포토 리스트, 액체 리소그래피 저항을 포함하여 단일 기판에 최대 3 개의 다른 저항을 코팅 할 수있는 대형, 진공 부동, 코팅 헤드가 장착되어 있습니다. 지하 난방 장치는 균일 한 온도 조절 및 매우 균일 한 저항 코팅을 제공합니다. "레이저 '간섭계 와 기계 의 광축 을 정렬 함 으로써 고해상도 노출 이 이루어진다. 검출기 평면은 광축의 5 미크론 내에서 조정할 수 있습니다. 닫힌 루프 노출 기판 단계 제어는 반복 가능한 리소그래피 프로세스를 보장합니다. 이 도구는 또한 고급 리소그래피에 필수적인 복잡한 피치 (pitch) 와 높은 종횡비 (aspect ratio) 를 처리 할 수 있습니다. 에셋은 포토 마스크 (photomask) 와 기판의 동시 정렬을 통해 최적의 이미징을 제공하며, 최소한의 위치 이동으로 패턴을 기판에 임계로 정렬할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 기판에 구조물을 정확하게 인쇄할 수 있으며, 정확도가 높습니다. MICROTEC Falcon은 편리한 장비 설정을 위해 사용자 친화적 인 소프트웨어를 갖춘 매우 다양한 모델입니다. 이를 통해 단일 단계 리소그래피 (lithography) 프로세스가 가능하므로 실제 노출 전에 사전 이미징 (pre-imagiing) 과 같은 여러 단계가 필요하지 않습니다. 이 기능은 시간을 절약하고 운영 처리량을 증가시킵니다. 시스템에 포함 된 최첨단 소프트웨어에는 다중 레벨 프레스캔, 다중 단계 저항 최적화, 고급 마스크 수정, 적응 패턴 인식, 스텝 및 반복 리소그래피 설정 등의 기능이 포함됩니다. 이 장치는 고급 인쇄 요구 사항도 처리 할 수 있습니다. 여기에는 광학 회색 스케일 생성, 이진 및 위상 시프트 마스크 노출을위한 조절 가능한 필름 백 바이어스 (back-bias) 와 같은 특수 기능이 포함됩니다. 이 기능은 다양한 응용 프로그램에 대한 다양한 치료 조합을 제공합니다. KARL SUSS 팔콘 (Karl SUSS Falcon) 은 마스크 및 장치 생산에 광범위한 기능을 제공하는 고급 포토 esist 머신입니다. 정밀한 패턴 인쇄를 위해 정확하고 반복 가능한 리소그래피 (lithography) 프로세스를 제공하며 다양한 photomask 유형을 노출시킵니다. 고급 "소프트웨어 '와 정확한 제어 기능을 갖춘 이 도구는 고급 기판 처리를 위한 탁월한 선택입니다.