판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Falcon VS11626 #9114639
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9114639
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Photolithography line system, 8"
(2) Cold plates
(5) Hot plates
(2) WAFERTEC Pumping systems
Robotic arm
Control box
1997 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626은 석판화 응용 프로그램의 생산 및 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최대 16 인치 크기의 웨이퍼를 코팅, 영상 및 개발 할 수 있습니다. MICROTEC Falcon VS11626 은 가변 속도 회전 (variable speed spinning) 을 사용하며, 완전히 프로그래밍 가능한 정렬 기능을 통해 다양한 석판 응용 프로그램에서 고품질의 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 공기 압력, 온도 및 습도를 최적화하는 진공 밀봉 챔버 (vacuum-sealed chamber) 를 사용하여 매우 일관된 처리 환경을 제공합니다. 이 기계는 또한 눈에 띄는 발생률 (incidence capability) 을 제공하여 공정 수율 및 균일성을 높이고 반복 가능한 저항 적용을 돕는 온판 온도 조절을 제공합니다. 석판화 공정 중 가장 정밀 한 것 을 달성 하기 위하여, 이 도구 는 또한 "하드 '나" 소프트 베이크', 개발자, 저항 재료 등 화학 물질 을 적용 하기 위한 습식 "스프레이어 '를 갖추고 있다. 또한 KARL SUSS Falcon VS11626에는 x, y 및 z 방향으로 보정 할 수있는 웨이퍼 포지셔닝을위한 수동 암이 장착되어 있습니다. 이미징 측면에서, 자산은 매우 상세한 이미지를 빠르고 일관되게 만들 수 있습니다. 강력하고 반복 가능한 전동 정렬 절차를 통해 일관성 있고 반복 가능한 이미징을 제공하며, 시간당 최대 510 개의 웨이퍼가 가능합니다. 이 전동 이미징은 0.1äm 해상도를 생성 할 수 있으므로 매우 정확합니다. Falcon VS11626에는 기본 제공되는 청소 모델도 있습니다. 이 장비는 CVD (Critical Vapour Deposition) 기술을 사용하여 웨이퍼의 코팅 표면에서 입자를 제거합니다. 또한 청소 "바구니 '가 갖추어져 있어서" 웨이퍼' 를 외부 와 내부 로 청소 할 수 있다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626은 고품질 및 반복 가능한 결과를 생성하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 포토 esist 장치입니다. 이 기계는 강력한 동력 정렬 도구와 정밀한 이미징 기능으로 최대 16 인치 크기의 웨이퍼를 코팅, 영상, 개발할 수 있습니다. 또한, 에셋은 내장 클리닝 모델과 웨이퍼 포지셔닝을위한 수동 암 (manual arm) 을 갖추고 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다