판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta Plus 80T #293595179
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KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T는 연구 실험실의 요구에 맞춘 소형 반자동 포토레스 장비입니다. 이 "시스템 '은" 마이크로 리터그래피' 와 관련 된 과정 에 이상적 으로 적합 하여 "마이크로 '와" 나노' 구조 를 설계 하는 데 필수적 인 도구 이다. MICROTEC Delta 80T에는 최적의 성능 결과를 제공하기 위해 고급 이미징 및 조명 광학을 포함한 정밀 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이 장치는 최대 프로세스 제어를 위해 광학적으로 폐쇄 된 마이크로 리토 그래피 챔버 (microlithography chamber) 와 기계 전체의 모든 프로세스를 안정적으로 제어하기 위해 고정밀 컴퓨터 온 모듈 (computer-on-module) 을 갖추고 있습니다. 이 도구는 또한 최대 200mm 기질의 정확한 이동을위한 고정밀 스테이지 모터를 자랑하며 실리콘, 쿼츠, 알루미늄, 폴리 이미 드 (polyimide) 와 같은 다양한 기질을 지원합니다. 또한 KARL SUSS DELTA 80 T는 인간 유발 노이즈를 제거하기 위해 다양한 환경 센서를 통합합니다. 고급 소프트웨어와 함께 KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80 T는 마이크로 및 나노 구조를 설계하기위한 다양한 옵션을 제공합니다. 양수 (positive) 와 음수 (negative) 의 사진작용자 및 고급 이미징 및 사전 정의 (pre- defining) 소프트웨어 처리에 사용할 수 있으므로 디자인에서 결과로 리소그래피 매개변수를 원활하게 전송할 수 있습니다. 이 자산에는 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 제어 소프트웨어 (control software) 가 장착되어 있어 사용자가 노출 제어, 저항 패턴 개발, 처리 결과 최적화 등의 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, MICROTEC DELTA 80 T는 모든 크기 기판에 설정 할 수있는 내장, 배럴, 맞춤형 및 반사기 조명기를 선택할 수있는 강력한 조명 소스를 특징으로합니다. 강력한 PC 제어 진공 척 및 기판 클램핑 모델을 통해 델타 80T (Delta 80T) 는 작업 영역 내에서 기판 크기를 유지하면서 일관된 기판 정렬을 보장 할 수 있습니다. 또한, 장비의 소프트웨어는 이전에 정의한 패턴과 관련하여 신속하고 정확한 마스크 정렬을 허용합니다. 전반적으로, DELTA 80 T는 석판화 실험 및 프로세스에 대한 정밀 저항 처리를 수행하는 이상적인 시스템입니다. 이 장치 는 사용 하기 쉽고, "마이크로구조 '와" 나노구조' 를 설계 하는 데 사용 할 수 있는 여러 가지 옵션 을 제공 하며, 매우 다양 한 기판 을 수용 할 수 있을 만큼 용도 가 다양 하다. KARL SUSS Delta 80T의 고급 정밀 구성 요소, 프로세스 제어 및 모니터링 소프트웨어, 다목적 조명원이 많은 실험실에 이상적인 선택입니다.
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