판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9190377

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2는 광학 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 고급, 레이저 간섭계 기반, 광학 광학 사진 촬영 시스템으로, 0.8 미크론까지 기능 크기를 생산할 수 있습니다. 이 장치는 반도체, 디스플레이, 고급 패키징, 마이크로 일렉트로닉 패키징 (microelectronic packaging) 등 다양한 어플리케이션에 고해상도 이미징 도구를 적용하도록 설계되었습니다. 이미징 헤드 (Imaging Head), 자동 스테이지 (Automated Stage), 노출 프로세스 제어 및 최적화를 위한 정교한 소프트웨어 패키지 및 하드웨어로 구성됩니다. 이미징 헤드는 사용자의 주 인터페이스 역할을하며 전송 X/Y 스캐닝 단계에 광학적으로 연결된 연속 파 UV 레이저 (continuous wave UV laser) 로 구성됩니다. 레이저 간섭계 기반 기계는 마스크 또는 웨이퍼를 정확하게 배치하고 수백 mm 이상의 2 미크론 내에 반복적으로 배치 할 수 있습니다. 또한, 이미징 프로세스를 최적화하기 위해 스테이지 위치를 동적으로 조정할 수도 있습니다. 자동화 된 단계는 0.2 미크론까지 해상도를 가진 매우 정확하고 동력화 된 단계입니다. 인시트 (in-situ) 난방 및 냉각이 가능하며, 인간이 제공하는 것을 초과하는 수준의 정확도를 제공합니다. 이 단계에는 광학 주소 X/Y 스캔 단계를위한 강력하고 유연한 드라이브 메커니즘이 포함됩니다. MICROTEC 델타 80T2 (MICROTEC Delta 80T2) 에는 고급 소프트웨어 패키지가 장착되어 있어, 사용자가 노출 프로세스를 제어하고 이미지 품질을 최적화할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 기존 포토리토그래피 (photolithography) 응용 프로그램 및 고급 포토리토그래피 (photolithography) 응용 프로그램의 처방전이 포함되어 있으며 광범위한 노출 매개변수 설정을 제공합니다. 또한, 사용자는 특화된 프로세스 응용 프로그램에 대한 대규모 레시피 라이브러리와 사용자 지정 가능한 레시피 (레시피) 에 액세스 할 수 있습니다. KARL SUSS Delta 80T2는 특정 응용 프로그램에 따라 다른 노출 수준과 노출 시간을 처리 할 수 있습니다. 에셋이 실행되는 동안 프로세스 매개변수를 측정, 모니터링, 측정할 수 있는 여러 도구를 제공합니다 (영문). 또한 데이터 로깅 (data logging) 및 보고 (reporting) 기능을 통해 특정 프로세스 결과를 분석할 수 있습니다. 요약하자면, 델타 80T2는 광학 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 고급 모델입니다. 0.2 미크론 (미크론) 까지 높은 수준의 정확도를 제공하며, 기존 사진 및 고급 사진 분석 응용 프로그램을 모두 실행할 수 있습니다. 신뢰할 수 있는 드라이브 시스템과 고급 소프트웨어 패키지 (Advanced Software Package) 를 통해 사용자는 프로세스를 최대한 활용할 수 있습니다.