판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #293590415

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2는 박막의 정확한 평면 화, 에칭 및 이미징을 가능하게하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 고밀도 집적 회로 (IC), 복합 반도체, MEMS, 광학 시스템 및 MEMS (micro-electromechanical) 장치 생산에 적합한 고정밀 시스템입니다. 이 장치는 고해상도 카메라, 스트로브 라이트 (strobe light) 및 CCD 검출기를 사용하여 에칭 및 이미징 프로세스를 정확하게 제어하는 최첨단 모니터링 머신을 갖추고 있습니다. 또한 사이클 당 최대 160 개의 웨이퍼, 12 축 수평 동작 자산 및 다중 조리개 광학 모델을 갖춘 고속 로딩 툴이 있습니다. MICROTEC Delta 80T2는 온화한 워밍업 사이클 및 정확한 클러치 관여가있는 고출력 크세논 램프 (xenon lamp) 와 자동 배경 셔터, 현장 필름 측정 및 XY 축 정밀 CD-Sem 제어 (XY-axis fine Control) 와 같은 고급 레시피 컨트롤러 장치를 사용합니다. 자동 노출 제어 (Automatic Exposure Control) 및 CD에서 CD 제어에 이르기까지 다양한 자동 프로세스 제어 기능, 이미지 개선 제어 기능, In-Situ CD-SEM 모니터링 도구 및 온도 조절 샘플 처리 장비가 있습니다. 또한 습식 벤치 보안 스위치 (Wet Bench Security Switch), 종합적인 에칭 플럼 제어 시스템 (Etching Plume Control System) 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. KARL SUSS 델타 80T2 (KARL SUSS Delta 80T2) 는 정확한 컨트롤과 높은 정확도로 인해 고해상도 이미지와 높은 공정 일관성을 달성 할 수있는 다목적 포토 esist 유닛입니다. 탁월한 에치 성능으로 프로세스 오버헤드 비용 및 웨이퍼 수익률 손실을 최소한으로 줄입니다. 내재된 장애 방지 시스템 (fault protection system) 을 통해 다양한 어플리케이션에 적합한 다양한 나노미터 규모의 기능 크기와 피치 밀도를 만들 수 있습니다.