판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T #293768236
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KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T는 얇은 산화물, 얇은 막, 얇은 막과 같은 얇고 섬세한 기판을 처리하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 진공 타이트, 저에너지 노출 메커니즘, 가열 된 기질 단계 및 화학 저수지로 구성됩니다. 노출 된 기판 물질은 빠르게 변경 될 수 있으며, 이 장치는 조정 가능한 해상도와 마스크 크기를 제공합니다. MICROTEC Delta 80T에는 노출 시간, 강도 및 검출기 판독값을 특징으로하는 디지털 노출 매개 변수 디스플레이가 장착되어 있으며 DSP (Digital Signal Processor) 를 기반으로합니다. 이 기능을 사용하면 노출 (Exposure) 매개변수를 높은 정밀도로 최적화할 수 있고, 노출 (Exposure) 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 이 컴퓨터에는 USB 포트가 있으며, USB 포트는 도구를 개인용 컴퓨터에 연결하고 노출 매개변수를 전송하는 데 사용됩니다. KARL SUSS 델타 80 T (DELTA 80 T) 는 하나의 세션에서 다중 노출이 실행되도록 하는 고급 노출 시퀀스 제어 (Exposure Sequence Control) 를 통해 노출 매개변수를 신속하게 최적화할 수 있습니다. 이 자산은 또한 조절 가능한 기판 온도를 특징으로하며, 이는 얇고 섬세한 재료를 처리 할 때 필수적입니다. 가장 높은 온도는 110 ° C (230 ° F) 이고 가장 낮은 온도는 -30 ° C이며, 이는 대부분의 photoresist 프로세스에 적합합니다. 칼 수스 델타 80T (KARL SUSS Delta 80T) 는 발전제, 용제 및 기타 필수 재료를 지속적으로 공급하도록 설계된 강력한 화학 저수지를 보유하고 있습니다. 이 모델은 또한 조정 가능한 마스크 크기를 특징으로하며, 광범위한 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. DELTA 80 T는 최대 20.3cm (8 인치) 직경의 기판을 덮을 수 있습니다. MICROTEC DELTA 80 T는 사용자 친화적이며 작동이 쉽습니다. 저에너지 빛을 전달할 수있는 독특한 아치 (arch) 모양의 진공 타이트 광 노출 메커니즘이 있습니다. 이 기능은 프로세스의 정확도를 높이고, 각 노출 단계에 필요한 에너지를 줄입니다. 델타 80T (Delta 80T) 는 0.5 미크론 (micron) 정도의 작고 섬세한 기판을 처리 할 수 있기 때문에 미세한 패턴화와 박막 제작에 적합한 선택입니다. 또한 새로운 포토 esist 프로세스 및 재료의 연구 및 개발에도 적합합니다.
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