판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T #293633022
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ID: 293633022
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2003
Spin coater, 4"
Speed: 7000 rpm (Maximum)
Power supply: 220 V
2003 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T는 주로 마이크로 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 실리콘 (silicon), 금속 (metal) 표면 등 다양한 기판을 패턴화하는 데 사용할 수 있는 자동화된 시스템이다. 이 장치는 기판 홀더, 광원 (light source) 및 프로세스 자동화 기능을 갖춘 특수 소프트웨어 패키지로 구성됩니다. 기판 "홀더 '는 기판 을 열화 시키고, 수동 개입 없이" 샘플' 을 신속 히 변화 시킬 수 있도록 설계 되었다. MICROTEC 델타 80T (Microtec Delta 80T) 는 샘플 표면의 일관되고 균일 한 조도를 제공하기 위해 쿼츠 창과 최적화 된 라이트 필터 머신이있는 고출력 Xe 램프를 특징으로합니다. 이것은 기질 표면을 가로 질러 포토 esist의 균일 한 분포를 보장합니다. KARL SUSS DELTA 80 T 는 프로세스 자동화 소프트웨어 (process automation software) 를 갖추고 있어 특정 애플리케이션에 대한 최적의 노출 시간을 자동으로 선택할 수 있습니다. '자동 타이머 (automated timer)' 를 통해 정확하고 반복 가능한 노출 기간을 통해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 자동 초점 제어 (Automatic Focus Control) 를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 광축을 따라 다른 위치를 선택할 수 있으며, 다른 저항 제형 사이에서 빠르게 전환 할 수있는 프로그래밍 가능한 반사 방지 코팅 (ARC) 에셋을 사용할 수 있습니다. 마이크로 텍 델타 80 T (MICROTEC DELTA 80 T) 에는 컴퓨터 제어 스피너가 제공되어 샘플에서 포토 esist를 자동으로 적용 및 제거 할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80 T는 다양한 산업 및 과학 응용 분야에 적합한 신뢰할 수있는 모델입니다. 박막 트랜지스터 (TFT) 및 기타 집적 회로의 photolithography 제작에 사용할 수 있습니다. 포토레스 (photoresist) 장비는 반복성이 높으며 일관된 결과를 제공하여 연구 및 프로토 타입에 이상적인 도구입니다. 또한, 시스템은 실리콘, 쿼츠, 금속 표면을 포함한 다양한 재료와 호환됩니다. 마지막으로, KARL SUSS Delta 80T는 가시적 및 자외선 스펙트럼에서 작동하여 해상도를 높이고 명암을 높입니다.
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