판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC #293768237

ID: 293768237
빈티지: 2003
Spin coater 2003 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC 포토 esist 장비를 사용하면 기판에 재료를 정밀 에칭 및 증착시킬 수 있습니다. 이 장치는 종합적인 소프트웨어 제어 시스템 (Software Control System) 을 갖춘 모든 기능을 갖춘 통합 플랫폼 (Integrated Platform) 으로 구성되며, 사용자는 전체 구성 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 가 있으며, 필름을 금속, 실리콘 및 기타 재료와 같은 기판에 배치합니다. 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 에는 공압 셔터 (Pneumatic Shutter) 가 있는데, 이 셔터를 사용하여 재료를 기계에 입력하지 못하게하여 사용자가 증착 과정 전반에 걸쳐 제어 할 수 있습니다. MICROTEC 델타 80RC (Microtec Delta 80RC) 에는 또한 높은 종횡비와 깊은 에칭 구조물의 제작에 이상적인 공구인 습식 (wet-etching) 챔버가 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 압력 제어 반응 챔버 (pressure-controlled reaction chamber) 를 특징으로하며 사용자가 반응 과정을 정확하게 제어하고 최적의 결과를 보장합니다. 80RC의 포토 리토 그래피 암 (photolithography arm) 은 기판에 광저항 물질을 증착시키는 데 사용되며, 375 nm UV 레이저를 사용하여 재료의 타이트한 선 패턴 정의가 뒤 따릅니다. 이렇게 하면 뛰어난 마스크 정렬 정확도로 고해상도 미세 선 패턴 (fine line pattern) 을 생성할 수 있습니다. KARL SUSS Delta 80RC에는 가열 된 세라믹 기판 홀더 (stratic 기판 홀더) 가 있으며, 전체 과정에서 균일 한 온도를 보장하기 위해 사용할 수 있습니다. 또한 X-Y-Z 모션 (X-Y-Z motion) 을 갖춘 기계적 단계를 통해 사용자가 기판에 포토 esist 레이어의 노출에 대해 정확하고 정확한 정렬을 제공합니다. 델타 80RC (Delta 80RC) 는 마이크로프로세서가 제어하는 작업 터치 스크린과 함께 제공되어 전체 도구를 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한 80RC 에는 제조 프로세스 중 결과 및 프로토콜을 문서화하는 고급 데이터 획득 소프트웨어 (Advanced Data Acquisition Software) 패키지가 포함되어 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC 포토 esist 자산은 기판에 다양한 재료의 정확한 에칭, 증착 및 리소그래피를위한 고급 통합 플랫폼입니다. 이 모델의 통합 플랫폼 (platform) 과 제어 시스템 (control system) 을 통해 사용자는 프로세스를 완벽하게 제어하고 최적의 결과를 얻을 수 있습니다.
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