판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC T #293751291

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T는 반도체 산업 내에서 포토 리토 그래피 프로세스에 중요한 역할을하는 정교한 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 감광 물질 을 기판 에 정확 하게 증착 시키고" 패턴' 을 만들기 위하여 설계 되었으며, 고해상도 와 정확도 로 복잡 한 미세구조 와 "패턴 '을 만들 수 있다. MICROTEC Delta 80RC T는 정밀 엔지니어링과 고급 자동화 기능을 결합하여 포토 esist 애플리케이션 프로세스를 간소화하여 집적 회로, MEMS (microelectromechanical system) 및 센서와 같은 반도체 장치를 제조하는 데 필수적인 도구입니다. KARL SUSS Delta 80RC T 장치의 핵심은 극도로 정밀하게 포토 esist 물질을 처리 할 수있는 능력에 있습니다. 광저항 물질 (Photoresist) 은 반도체 기판에 적용되어 장치 상의 피쳐의 위치를 정의하는 패턴을 만드는 빛에 민감한 재료입니다. 델타 80RC T (Delta 80RC T) 는 스핀 코팅, 베이크 및 개발 모듈의 조합을 사용하여 포토 esist 레이어를 배치, 열 처리 및 개발하여 균일 한 적용 범위와 정확한 기능 정의를 보장합니다. 기계의 스핀 코터 모듈 (spin coater module) 은 표면에 얇고 균일 한 포토 esist 층을 퍼뜨리기 위해 기판을 고속 속도로 회전시킬 수있는 반면, 베이크 모듈 (bake module) 은 포토 esist를 가열하여 용매를 구동하고 접착력을 향상시키는 데 사용됩니다. 마지막으로, 개발 모듈은 photoresist의 노출되거나 노출되지 않은 영역을 선택적으로 제거하여 패턴화 된 피쳐를 표시합니다. KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T는 핵심 포토레스 처리 기능 외에도 생산성과 반복성을 향상시키는 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구의 자동 웨이퍼 처리 자산 (automated wafer handling asset) 은 기판의 효율적인 로드 및 언로드, 운영자의 개입 최소화, 오염 위험 감소 등을 가능하게 합니다. MICROTEC Delta 80RC T는 또한 프로그래밍 가능한 레시피와 프로세스 컨트롤을 제공하여 사용자가 원하는 패턴 해상도 및 품질을 달성하기 위해 증착, 제빵, 개발 매개변수를 세밀하게 조정 할 수 있습니다. KARL SUSS Delta 80RC T 모델은 높은 수준의 유연성과 확장성을 제공하므로 반도체 업계의 광범위한 애플리케이션에 적합합니다. 고급 논리 장치, 메모리 칩, 센서 또는 전력 반도체를 제조할 것인지, 델타 80RC T (Delta 80RC T) 는 다른 프로세스와 재료의 특정 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장비 는 여러 가지 광물질 화학 물질 및 "기판 '들 과 호환 하여, 여러 가지 두께 와 특징 크기 를 증착 시켜" 반도체' 제조업자 들 의 다양 한 필요 를 충족 시켜 준다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T 포토 esist 시스템은 반도체 제조에서 정확하고 신뢰할 수있는 포토 esist 처리를 위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 첨단 기능, 자동화 기능, 다용성을 갖춘 MICROTEC Delta 80RC T는 반도체 장치 제작에서 높은 수율, 품질, 성능을 달성하는 데 유용한 툴입니다.