판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293585694

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80은 단일-트리플 레이어 포토 esist 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 지원하는, 프로그래밍 가능하고, 안정적이며, 견고한 플랫폼을 활용합니다. 주로 마이크로 일렉트로닉 및 나노 일렉트로닉 산업에서 사용됩니다. MICROTEC Delta 80에는 스테인리스 스틸 진공실에 장착 된 기능이 풍부한 제어 시스템이 있습니다. 즉, 사용자가 노출 각도, 노출 시간, 강도 등과 같은 photoresist의 노출 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 다른 기판과 단계 사이의 저항층의 매우 높은 매칭을 지원합니다. 이 장치는 고품질 서피스 마무리 (surface finish) 를 제공하며, 포토레지스트 프로세싱과 호환되도록 균일성을 제공합니다. 진공실은 고압 PPT 코팅 기술을 사용하여 프리코팅을 제거하는 플라즈마 청소 및 접착력을 개선합니다. KARL SUSS Delta 80은 모듈식 설계를 통해 개별 요구를 충족하는 유연한 구성을 제공합니다. 컴퓨터는 스핀 코팅 기술 (spin-coating technology), 하드 베이크 모듈 (hard bake module) 과 같은 추가 모듈로 업그레이드할 수 있으므로 사용자 정의가 가능합니다. 이 도구는 저항에서 구리까지 여러 재료를 지원합니다. 단일 레이어에서 다중 레이어 에칭 기술까지. 웨이퍼 두께가 최대 300 um 인 0.03 um의 반복 가능한 정확도를 갖습니다. 및 최대 150mm의 웨이퍼 크기로 0.001nm의 반복 가능한 레이어 두께. 또한 단일 실행에서 여러 프로세스 단계 (예: 광학 인쇄, 코팅 개발 프로세스, 플라즈마 처리) 를 지원할 수 있습니다. 델타 80 (Delta 80) 은 전례없는 균일성과 사용하기 쉬운 간단한 제어를 제공합니다. 또한 가장 광범위한 응용 프로그램 프로파일 (Application Profile) 중 하나가 있으며, 품질과 정확도가 가장 높은 포토레스 처리 (Photoresist Processing) 에서 최적의 선택을 제공합니다. 높은 품질의 저비용 (LP) 프로세스를 위해 반복 가능한 프로세스 제어와 뛰어난 정밀도를 보장합니다.