판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #9298295

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T는 MEMS 개발 및 생산에 사용하도록 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 광저항 "시스템 '은" 실리콘' 이나 유리 와 같은 기판 재료 에 무늬 를 만들기 위해 미세 조작 에 사용 된다. 이 과정 은 감광 "폴리머 '물질 을 빛 에 노출 시키어 기질 에" 패턴' 을 만든다. MICROTEC의 MICROTEC Delta 36T photoresist 시스템은 노출 장치, 매우 깨끗한 photoresist 처리 스테이션, 처리 후 기계 및 기판 재료를 보관하는 플랫폼의 4 가지 필수 구성 요소로 구성됩니다. KARL SUSS Delta 36T 노출 도구는 36 개의 aerosol JetHead를 갖춘 동봉 된 플랫폼으로 UV 노출 용량을 정확하게 제어합니다. 이 매우 정확하고 하향식 조사로 기판을 JetHeads와 정렬하여 균일 한 조명을 제공합니다. 각 JetHead는 개별적으로 조정이 가능하며, 자산에는 청소용 통합 자동 세척 모델이 포함되어 있습니다. 그 장비 의 청결 함 은 "포토레지스트 '재료 의 보존 과 생산 된" 패턴' 의 질 에 필수적 이다. 델타 36T (Delta 36T) 슈퍼 클린 포토리스 스틱 처리 스테이션 (super-clean photoresist handling station) 은 시스템의 중요한 부분으로, 기판을 적재 및 언로드하는 동안 포토리스 스트 재료가 오염되지 않도록 보장합니다. 이 "스테이션 '은 미립자 와 화학적 오염 을 최소화 하고 그 장치 의 청결 함 을 유지 하도록 설계 되었다. 포스트 프로세싱 머신 (post-processing machine) 은 조사 완료 후 사용되며 열 어닐링 (thermal annealing) 과 습식 또는 건조 개발 공정으로 구성됩니다. 이러한 제어 환경을 제공함으로써 KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T는 생성 된 패턴이 일관되고 신뢰할 수 있도록 보장합니다. MICROTEC Delta 36T photoresist 도구는 다양한 유형의 MEMS 기판에서 안정성과 반복성을 입증한 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 다용도와 정확성이 높은 이 자산은 모든 MEMS 응용 프로그램 또는 연구에 적합한 툴입니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 과 안전하고 깨끗한 환경 (Clean Environment) 을 갖추고 있어 미세조립된 장치와 부품에서 패턴을 만드는 데 적합합니다.