판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #107379

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T는 기판에서 고해상도 서브 미크론 구조를 생성하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 다중 노출 기능을 갖추고 있어 반도체 마이크로칩 (microchip) 에서 매우 복잡한 패턴을 생산할 수 있습니다. MICROTEC 델타 36T (Microtec Delta 36T) 는 기판 전체에 걸쳐 빛의 균일성을 향상시키고 광범위한 포토 esist 물질을 사용하여 작업 할 수있는 고급 광학 장치를 갖추고 있습니다. KARL SUSS 델타 36T (Karl SUSS Delta 36T) 는 고급 프로젝션 광학 머신을 사용하여 석판화 정확도를 높여 정확하고 높은 수율 생산성을 제공합니다. 이 도구는 수치 조리개가 0.75 인 Carl Zeiss f-Theta Lens를 사용하며, 이는 0.2 µm까지 높은 해상도를 제공합니다. 또한, 델타 36T (Delta 36T) 는 1 사이클에서 최대 4 개의 노출을 지원하도록 설계되어 높은 화면 비율과 뛰어난 초점 윤곽선 깊이를 제공합니다. KARL SUSS/MICROTEC 델타 36T (Microtec Delta 36T) 에는 기판의 기판 및 패턴을 쉽게 정렬 할 수있는 강력하고 직관적인 소프트웨어 패키지도 있습니다. 소프트웨어의 "단계 및 반복 (Step & Repeat)" 기능을 사용하면 여러 기판에서 여러 개의 일관된 이미지를 생성할 수 있으며 "자동 정렬 (Auto Align)" 기능을 통해 오버레이의 정확도를 높일 수 있습니다. MICROTEC Delta 36T는 회색 음영 이미지뿐만 아니라 바이너리도 생성 할 수 있습니다. 이미징 정확성과 균일성 측면에서 KARL SUSS Delta 36T는 뛰어납니다. 이미징 정확성을 보장하고, 향상된 주행 정확도를 제공하는 고해상도 인코더를 추가로 제공하는 ImageMASSter 지능형 측정 (intelligent measurement) 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 에셋은 또한 정밀 레시피 (precision recipe) 관리를 위해 프로그래밍 가능한 제어 프로세스 매개변수를 갖추고 있으며, 편리성과 효율성을 높이기 위해 손쉽게 터치스크린 인터페이스를 사용할 수 있습니다. 안전성 측면에서 델타 36T에는 먼지 또는 입자로부터 광학을 보호하는 더스트 쉴드 (Dust Shield) 와 진공 방패 (Vacuum Shields) 가 장착되어 있으며, 둘 다 리소그래피 출력에 영향을 미칩니다. 이 모델에는 기판에 물체의 존재를 감지하는 정교한 근시야 (proximal vision) 장비가 장착되어 있어 운영자 안전성 (operator safety) 이 높다. 결론적으로, KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T 포토 esist 시스템은 인상적인 리소그래피 정확도로 고해상도 서브 미콘 패턴을 생성 할 수있는 잘 설계되고 효율이 높은 장치입니다. 이 머신은 우월한 조명과 강력하면서도 직관적인 소프트웨어 제품군을 제공하여 반복 가능하고 효율적인 결과를 보장합니다. 또한 MICROTEC Delta 36T는 광학 및 운영자를 보호하기 위해 중요한 안전 기능을 제공합니다.