판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9124419

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPO는 반도체 기판의 고해상도, 정확한 패턴화를 위해 설계된 고급 사진 분석/포토리스 장비입니다. 이 시스템은 다중 오버레이 및 정렬 정확도 (최대 0.3 미크론) 와 같은 고급 기능을 위해 설계되었으며, 반도체 웨이퍼의 비용 효율적인 패턴화를 위해 높은 처리량 생산 및 확장된 제품 수명을 제공합니다. 이 장치에는 최대 3cm/초의 5 "~ 8" 기판을 지원할 수있는 통합 된 안정성 웨이퍼 스테이지가 있습니다. 무대는 공기 강화 레일에 장착되고 경량 (light travel) 어셈블리에 의해 지원되어 정확하고 신뢰할 수있는 기판 움직임을 보장합니다. 멀티 채널 마이크로 프로세서 컨트롤러는 스테이지를 독립적으로 모니터링하고 서브 미크론 정밀도 (sub-micron precision) 에서 웨이퍼 위치를 제어합니다. 이 기계에는 가변 조명 광학 장치 및 마이크로 스테퍼 (MicroStepper) 전동 투영 도구가 장착되어 기판에 고해상도 패턴을 정확하게 투영합니다. 에셋은 양성 (positive) 이나 음성 (negative) 광학자를 노출하도록 구성 될 수 있으며, 충실도 광학은 종횡비와 해상도가 1/4 이하의 미크론 범위까지 높은 패턴을 생성 할 수 있습니다. 또한 MICROTEC Delta 20T2/150VPO는 숫자 코드 자동 초점 기능을 제공하여 더 두꺼운 기판에서도 최고 해상도 패턴을 보장합니다. 자동 초점 알고리즘은 또한 0.1 미크론 미만의 단계 크기로 매우 정확하고 반복 가능한 초점 컨디셔닝을 제공합니다. 이로 인해 노출 시간이 단축되고 전력이 절약되어 처리량이 늘어납니다. 이 모델은 딥 UV (deep-UV) 및 소프트 UV 광원 (soft-UV light source) 을 포함한 다양한 사진 분석 및 정리 도구와 결함 감지 및 보고를위한 웨이퍼 에지 검사 장비를 제공합니다. 또한, 시스템에는 빠르고 방해받지 않는 기판 로딩 및 언로드를 위해 로드 잠금 (load lock) 이 장착되어 있습니다. KARL SUSS DELTA 20T2/150VPO는 photolithography 및 photoresist 기술을 사용하여 반도체 기판에서 고품질의 정밀 패턴을 생성하는 고급 장치입니다. 반도체 제조· 연구에 이상적인 솔루션으로 자리잡고 있는 "특성과 역량 '과" 비용 효율성' 이 인상적이다.