판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T #9139667

KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T
ID: 9139667
웨이퍼 크기: 6"
Manual coat spinner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T는 기존의 배치 처리 및 고급 웨이퍼 레벨 패키징 어플리케이션에 최적화된 고해상도 마스킹 솔루션을 제공하는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. MICROTEC 델타 20T (Microtec Delta 20T) 는 여러 고급 프로세스 기술을 통합하여 사용자가 주어진 샘플의 기능을 배치하는 데 마이크로미터 정확도를 달성 할 수 있도록 합니다. 이 시스템에는 초음파 블레이드 포지셔닝 메커니즘과 부드러운 벨트 전송이 가능한 AC 서보 스테퍼 모터가 있습니다. 이를 통해 포토 esist 물질에 매우 정확하게 노출 될 수 있습니다. 이 장치는 또한 뛰어난 재료 코팅 균일성을 제공합니다. 웨이퍼는 전면 패널 사용자 인터페이스를 통해 빠르고 쉽게 로드되고 언로드됩니다. KARL SUSS Delta 20T의 고해상도 이미지 프로젝션 머신은 전체 웨이퍼 표면에 대한 탁월한 균일성 범위를 제공합니다. 이것은 정확한 렌즈 교정 도구와 고해상도 광학 이미징 투영 기술로 가능합니다. 또한 델타 20T (Delta 20T) 는 다양한 포토플롯을 정확하게 수정하고 최적화하여 사용자가 얇은 웨이퍼 및 ITO 기판과 같은 까다로운 기판을 정확하게 처리 할 수 있도록 합니다. KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T는 또한 ± 1 마이크로 미터의 위치 정확도를 특징으로합니다. 이렇게 하면 마스킹 패턴이 편차 없이 웨이퍼 (wafer) 표면에 올바르게 배치됩니다. 또한이 자산에는 고급 스퍼터링 챔버가 있습니다. 이 챔버는 고해상도 박막 패턴을 생산하는 데 필요한 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 프로세스를 완료 할 수 있습니다. MICROTEC 델타 20T (Microtec Delta 20T) 는 최첨단 포토리스 (photoresist) 모델로, 최신의 최첨단 미세 구조를 생산하기 위한 최첨단 프로세스 기술 제품군을 제공합니다. 즉, 사용자는 운영 수율을 최적화하고 제작 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다.
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