판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 12RC #293699536

ID: 293699536
빈티지: 2008
Spin coater 2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC 델타 12RC (Microtec Delta 12RC) 는 미세 제조 공정에 대한 광사 물질의 적용에 정확하고 정확성을 제공하도록 설계된 정교한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 기술과 사용자 친화적 (user-friendly) 기능을 결합하여 반도체와 마이크로일렉트로닉스 산업의 까다로운 요구 사항을 충족시킵니다. MICROTEC Delta 12RC 장치의 주요 기능 중 하나는 고급 정렬 및 노출 기능입니다. 이 기계에는 고해상도 정렬 시스템 (High Resolution Alignment Systems) 이 장착되어 있어 노출 과정에서 기판 및 마스크를 정확하게 배치할 수 있습니다. 이렇게 하면 포토레시스트 (photoresist) 레이어에서 생성된 패턴이 정확하고 일관성이 유지되므로 이후의 제조 단계에서 고품질 (High-Quality) 결과를 얻을 수 있습니다. KARL SUSS Delta 12RC 도구는 또한 근접, 접촉 및 투사 노출 모드를 포함한 다양한 노출 옵션을 제공합니다. 각 노출 모드는 장점이 있으며, 여러 유형의 응용 프로그램에 적합합니다. 근접도 (Proximity) 모드는 종종 마스크와 기판 사이의 접촉이 최소인 고해상도 패턴화 (High-resolution patterning) 에 사용되며, 전체 기판 표면에 균일한 노출을 달성하기 위해 접촉 모드가 선호됩니다. 반면에, 투영 모드는 넓은 영역 패턴화와 높은 처리량 프로세스에 이상적입니다. 델타 12RC (Delta 12RC) 에셋은 정렬 및 노출 기능 외에도, 전반적인 모델 성능과 사용자 경험을 향상시키는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 장비는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 로 설계되어 시스템 매개변수를 쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. 따라서 photoresist 처리에 대한 다양한 수준의 전문 지식을 갖춘 사용자에게 적합합니다. 또한, KARL SUSS/MICROTEC Delta 12RC 장치는 양성 및 음성 톤 포토 esist를 포함한 광범위한 포토 esist 물질과 호환됩니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 나노 스케일 (Nanoscale) 기능을 패턴화하거나 대규모 회로 패턴을 생성하기 위해 특정 애플리케이션 요구사항에 가장 적합한 포토리스트 (photoresist) 를 선택할 수 있습니다. 또한 MICROTEC Delta 12RC 머신에는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있어 일관되고 재현 가능한 결과를 보장합니다. 이러한 기능에는 노출 매개변수 (예: 광도, 노출 용량) 의 실시간 모니터링과 자동 오류 감지 및 수정 기능이 포함됩니다. 이렇게 하면 프로세스 변형을 최소화하고 프로세스 수율을 최적화할 수 있습니다. 또한 KARL SUSS Delta 12RC 도구는 확장성을 고려하여 설계되었으며, 기존 구성 라인 또는 Cleanroom 환경에 통합할 수 있습니다. 이 자산을 모듈이나 액세서리를 추가하여 쉽게 업그레이드할 수 있어 진화하는 프로세스 요구 사항을 충족하고 새로운 기능 (예: 다중 계층 패턴화 또는 3D 미세 구조 제작) 을 구현할 수 있습니다. 전반적으로 델타 (Delta) 12RC 포토 esist 모델은 고정밀 패턴화 및 정렬이 필요한 마이크로 패브라이션 프로세스에 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다. KARL SUSS/MICROTEC Delta 12RC 장비는 고급 기능, 사용자 친화적 인 인터페이스, 다양한 포토 esist 재료와의 호환성으로 반도체, MEMS 및 optoelectronics 산업의 다양한 응용 분야에 적합합니다.
아직 리뷰가 없습니다