판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Delta 12 #293759851

KARL SUSS/MICROTEC 델타 12 (Delta 12) 는 다양한 기판 재료에 대한 포토 esist의 경제적이고 양질의 증착을위한 혁신적인 솔루션을 제공하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 혁신적인 광 노출 기술을 갖춘 MICROTEC Delta 12는 분석 기능을 갖춘 고해상도, 일관성, 반복 가능한 패턴화 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 6 인치에서 12 인치 사이의 웨이퍼 직경과 최대 6 개의 공정 챔버 용량을 제공하여 연구 개발 (R&D) 및 생산에 적합한 선택입니다. 고급 자동화 프로세스 제어가 적용된 KARL SUSS 델타 12 (Delta 12) 는 개발자들이 리토 그래피 프로세스를 수동으로 구성할 수 있도록 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 정확하고 안정적인 패턴화를 위해, 이 장치는 높은 정확도의 직접 드라이브 리니어 모터로 구동됩니다. 또한 업계 표준 PECVD 모듈 (PECVD Module) 과 최첨단 유지 관리 코터 트랙 (Coater Track) 을 통해 사용자가 필름 두께를 제어하고 균질성을 저항 할 수 있습니다. 델타 12는 또한 외부 영향으로부터 분리 된 최첨단 공정 챔버 열을 특징으로합니다. 이 기능은 사용자가 정확한 노출 (exposure) 을 만들고 증착 온도 변동을 방지할 수 있도록 온도 조절 환경을 제공합니다. 이 기계는 또한 고급 광음성 (photonegative) 및 광양성 (photopositive) 기술을 사용하여 사용자가 고해상도 마이크로 패브릭을 수행 할 수 있도록 합니다. 다른 기능으로는 가변 깊이 폴리머 에치, 내부 구조를위한 화학 밀링 공정, 가변 전력 감지 등이 있습니다. 정확한 포지셔닝 기능을 통해, 사용자는 원하는 필드 크기를 선택하고, 패턴 왜곡을 줄일 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC Delta 12 도구는 빠른 노출 및 그라디언트 노출 프로세스와 같은 고급 기능도 제공합니다. 이 기능을 사용하면 도전적인 형상에서도 웨이퍼를 가로 질러 균일 한 photoresist 패턴을 만들 수 있습니다. 또한, 자산은 도전적인 패턴에서도 매우 높은 프로세스 정확성과 반복 성을 제공합니다. 전반적으로 MICROTEC Delta 12 photoresist 모델은 고급 기능을 갖춘 안정적이고 매우 정확한 photolithography 프로세스입니다. 사용자 친화적 인터페이스와 다양한 데이터 수집 (data collection) 기능을 통해 R&D 및 운영 환경을 위한 탁월한 선택이 가능합니다. 이 장비는 품질 증착, 정확한 패턴, 신뢰할 수있는 저항 균질성을 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다.