판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #9210358

KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray
ID: 9210358
웨이퍼 크기: 8"
Spray coater, 8".
KARL SUSS/MICROTEC AltaSpray는 고급 포토 esist 장비로, 사용자가 기판에 얇은 정확한 포토 esist 수지 층을 배치 할 수 있습니다. 이것은 photolithography 기술을 활용할 때 코팅의 균일성과 신뢰할 수있는 결과를 보장합니다. MICROTEC AltaSpray 시스템은 고성능 스프레이 건 (Spray Gun) 을 갖추고 있으며, 최대 8 x 10 인치 면적에서 포토 esist 코팅 두께를 잘 제어할 수 있습니다. KARL SUSS ALTA SPRAY는 다양한 photoresist 요구 사항에 대해 정확하고 조정 가능한 매개 변수를 제공합니다. 여기에는 스프레이 거리, 스프레이 속도, 압력 및 원자 화 제어가 포함됩니다. 또한, 이 장치는 풀 필드 관리, 패치 모드 또는 로컬 코팅과 같은 여러 코팅 모드를 지원합니다. 이러한 기능을 통해 이질적인 기판 표면에 대한 코팅 두께 제어, 다중 노즐 시스템의 각 노즐에 대한 독립 제어, 래커 글레이징 기술 구현 등의 고급 기능을 사용할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC ALTA SPRAY는 다양한 기판 및 포토 esist를 지원합니다. 양수 (positive) 와 음수 (negative), 해상도 (resolution) 및 기타 요구사항과 같은 원하는 특성에 따라 적절한 포토레시스트를 선택할 수 있습니다. 맞춤식 프로세스는 사진 (photolithography) 프로세스에서 원하는 성능을 발휘하며 재현 가능한 결과의 열쇠입니다. 또한 KARL SUSS AltaSpray에는 photolithography 프로세스를 완료하기위한 사후 처리 및 청소 옵션이 포함됩니다. 이 시스템은 단일 프로그램의 일부로 스프레이 사이클 (spray cycle) 및 클리닝 사이클 (cleaning cycle) 작업의 전체 설치를 지원합니다. 또한 개선 된 청소 기능을위한 초음파 노즐이 있습니다. 또한 효율적으로 교체할 수 있는 구성 요소와 예비 부품 (Spare Part) 을 자동으로 모니터링하여 공구의 장기 유지 관리도 향상됩니다. 결론적으로, ALTA SPRAY (ALTA SPRAY) 는 다양한 기판에 대해 정확하고 일관된 photoresist 층을 배치 할 수있는 고급 photoresist 자산입니다. 조정 가능한 매개 변수를 제공하며 여러 코팅 모드를 지원합니다. 또한, 처리 후 주기와 청소 옵션을 통해 향상된 생산 처리량을 제공합니다. 이러한 방식으로, AltaSpray는 photolithography 기술을 활용할 때 안정적인 결과와 향상된 생산 수율을 보장합니다.
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