판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #293745313

KARL SUSS/MICROTEC AltaSpray는 고정밀 응용 프로그램을 위해 설계된 최고급 포토리스 장비입니다. 태양 광, 반도체 및 나노 기술과 같은 산업에 사용됩니다. 이 시스템은 스핀 코팅, 증착, 소프트 베이킹, 개발 및 노출 후 어닐링을위한 정교한 프로세스를 갖추고 있습니다. 스핀 코팅 공정 (spin-coating process) 은 고속으로 기질에 얇은 포토 esist 필름을 회전시켜 짝수 코팅을 생성합니다. 이 장치는 속도 및 스핀 지속 시간 (spin-duration) 을 정확하게 제어하는 독특한 모터 기술로 설계되었습니다. 이렇게 하면 두께가 최소화되면서 균일 한 증착이 가능합니다. 스핀 코팅 후, 포토 esist는 공압 스프레이 헤드 제트기에 의해 퇴적됩니다. 이 제트기는 퇴적된 재료의 균일성과 두께를 제어합니다. HVOF-WC 총은 또한 더 높은 증착률을 허용하며, 얇은 두께의 층을 생성하는 데 사용됩니다. 일단 광전물질 을 증착 시키면, 기질 을 가열 시킨 다음, 광전물질 의 경화 를 가속 시킨다. 이것을 소프트 베이킹 프로세스라고합니다. 이 과정에서, 휘발성 화합물은 구동되고, 폴리머는 강력한 교차 연결 구조를 가지고 있으며, 이는 추가 기계적, 열적 분해에 강하다. 그런 다음 개발 프로세스를 사용하여 노출되지 않은 포토 esist를 제거합니다. 이것은 일반적으로 수산화나트륨 (NaOH) 또는 수산화암모늄 (NH4OH) 의 수용액으로 수행됩니다. 개발 과정이 완료되면, 기질은 탈이온화 된 물로 염색된다. 마지막으로 MICROTEC AltaSpray에는 스프레이 노출 후 어닐링 프로세스가 포함됩니다. 이것은 전통적인 용광로 어닐링의 대안으로 수행됩니다. 광전자는 질소, 산소-아르곤, 산소-수소 또는 아르곤-수소 혼합물로 분사됩니다. 이것 은 "폴리머 '를 안정화 시키고 광전물질 의 구조 를 완화 시키는 데 도움 이 되므로, 노출 과 개발 단계 중 에 생기는" 스트레스' 를 감소 시킨다. KARL SUSS ALTA SPRAY의 정교한 공정은 가장 섬세한 기판에서도 정확한 코팅을 가능하게합니다. 이로써, 이 기계는 태양 광 공학, 실리콘 및 나노 기술 분야의 고급 연구 및 생산 응용 분야에 이상적으로 적합합니다. 또한, 이 도구는 주기 시간 단축, 필름 두께 최적화, 프로세스 수익률 및 처리량 증가를 돕기 위해 설계되었습니다.