판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9384559

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300은 마이크로 전자 부품의 정밀 제조를위한 포토 esist 장비입니다. 다중 노출 및 정렬 기능을 활용하여 안정적이고 작은 기능의 패턴 전송을 제공합니다. 이 시스템은 마이크로 테핑 마이크로 프로세서 제어 XY 기판 단계, 정밀 X-Y-Z 단계 및 자동 노출/개발 장치의 3 가지 구성 요소로 구성됩니다. 기판 단계 (Substrate Stage) 는 정확한 피쳐 배치를 위해 유연한 이동 증가와 속도 설정을 제공하는 반면, 경제 X-Y-Z 단계는 중요한 정렬에 필요한 안정적인 광학 침투를 허용합니다. 30äm 이상의 작은 구조를 패턴화하기 위해 MICROTEC ACS 300은 통합 디지털 비전 카메라 머신을 사용하여 서브 미크론 정렬 기능을 제공합니다. KARL SUSS ACS 300은 또한 기판 금속화를위한 모듈 식 도구를 제공합니다. 금속 화 모듈의 정밀 리프트 메커니즘 (precision lift mechanism) 은 텍스처 된 서피스 위에 기판을 소규모로 배치하고 시트를 보호합니다. 이 모듈에는 자동 마이크로 마스크 적재 자산, 화학 증기 전달 모델 및 적외선 기반 난방 장비가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 코팅 및 에칭 프로세스에도 사용할 수 있습니다. 금속 산화물 에칭은 에친트 노출 시간을 위해 조정 가능한 설정을 통해 처리됩니다. 마찬가지로, 다양한 코팅 프로세스 및 사전 조건은 자동 프로그래밍 가능 옵션을 사용하여 구성 할 수 있습니다. ACS 300은 반복성과 프로세스 제어를 용이하게 하도록 설계되었습니다. 통합 마이크로프로세서 컨트롤은 장치 유지 관리 레코드뿐만 아니라, 교정 및 확인 모듈에 대한 액세스를 제공합니다. 마찬가지로 실시간 프로세스 제어 기술은 일관된 프로세스 결과를 유지하는 데 도움이됩니다. KARL SUSS/MICROTEC ACS 300은 고급 자동 포토 esist 기계입니다. 안정적이고 작은 기능의 패턴 전송 및 코팅/에칭 기능을 제공합니다. 통합 마이크로프로세서 (microprocessor) 컨트롤은 안정적인 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 제공하는 반면, 교정 및 검증 모듈은 자동화된 기능 측정 및 추적을 제공합니다.