판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9211226

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300은 상용 사진 분석 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 Optics, Electronics, Chemistry 등 3 가지 주요 기술을 활용하는 완전 통합 프로세스 모듈이 있습니다. MICROTEC ACS 300의 광학 모듈은 정확한 노출 수준 및 포토 마스크 정렬을 설정하기 위해 정밀 광학을 사용합니다. 이 모듈은 업계에서 가장 짧은 파장을 가능하며, 높은 정밀도의 유연한 석판화 패턴을 위해 조정 가능한 레이저 파워 (laser power) 및/또는 가변 조리개 (variable-aperture) 설정을 제공 할 수 있습니다. 전자 장치 모듈은 photomask의 패턴 배치 및 모니터링을 담당합니다. 가장 정확한 패턴 배치를 위해 2 개의 개별 압전 드라이브 시스템을 갖추고 있습니다. 이 모듈은 초고해상도 장치 생산에 관심이 있는 KARL SUSS ACS 300 사용자에게 특히 유리합니다. 화학 "모듈 '은, 감광제 와 개발 중 의 화학 약품 을 첨가 한, 졸업 한 용량실 이 있는 화학" 탱크' 로 구성 되어 있다. 이 모듈에는 또한 독점적 인 UV 조사 장치 (UV-irradiation unit) 가 포함되어 있으며, 이는 공중 단백질의 형성을 방지하고 이미지 왜곡 및 서브 미크론 해상도를 제거한다. ACS 300은 모든 유형의 석판 응용에 이상적인, 고도로 발전된 포토 esist 기계입니다. 완전히 통합 된 공정 모듈은 정확한 패턴 배치를위한 정확한 광학 도구를 제공하며, 화학 모듈에는 공기 단백질 형성을 방지하는 UV-irradiation 도구가 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC ACS 300은 정확한 석판화가있는 초고해상도 장치가 필요한 사용자에게 적합한 솔루션입니다.