판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9081962

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300은 photolithography를 사용하여 기판의 정확하고 일관된 패턴을 위해 설계된 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 특히 고급 웨이퍼 패턴화를 전문으로합니다. MICROTEC ACS 300 장치에는 최대 200mm 기판과 최대 8 "반도체 웨이퍼를 노출 할 수있는 고도의 고급 기계 인 OptiCAL 노출 헤드가 포함되어 있습니다. 이 노출 헤드는 고해상도 이미지가 생성되도록 SUSS Greentec 감소 광학을 특징으로합니다. 그 에 더하여, "스캐닝 렌즈 '와" 레이저' 자동 초점 장치 를 갖추었는데, 그것 은 기판 을 영상 할 때 정확성 과 정확성 을 보장 해 준다. KARL SUSS ACS 300에는 기판에 광원 패턴을 적절히 정렬하기 위해 AutoEdge 정렬기가 함께 제공됩니다. 이 정렬자 (aligner) 는 조명이 원하는 영역에 적절하게 집중되도록 도와줍니다. 그것 은 "스캐닝 '전자 현미경 (SEM) 을 통하여 이것 을 달성 하는데, 이것 은 기질 의 미세 한 오차 를 탐지 하는 데 사용 된다. 이 도구는 접촉 사진과 투영 사진술에 모두 사용할 수 있습니다. 이러한 유형의 광석기 (photolithography) 는 레이저 (laser) 와 같은 광원을 사용하는데, 이는 빛에 민감한 물질에 빛난다. 이것은 패턴을 만들기 위해 기판의 영역을 노출시킵니다. 이 동일한 프로세스를 사용하여 에치, 석판화 및 패턴 기판을 사용할 수 있습니다. 마지막으로 ACS 300 포토 esist 자산은 고유 한 자동 클리닝 모델을 특징으로합니다. 이 장비는 사람의 오차를 줄이고, 렌즈 품질을 유지하고, 시스템을 최적의 상태로 유지하는 데 도움이됩니다. 이것 은 "렌즈 '를 수 시간 마다 특수 액체 로 원자 로 청소 하고 코팅 함 으로써 수행 된다. 이 로 인해, 마모 와 눈물 로 인한 분해 를 방지 하면서, 장치 의 해상도 와 정확도 를 유지 한다. 결론적으로, KARL SUSS/MICROTEC ACS 300은 기판의 정확하고 일관된 패턴을 제공하는 고도의 포토 esist 기계입니다. 이 기능은 또한 접촉 및 투영 사진 해설을 허용합니다. 자동화된 청소 도구는 자산의 정확성과 해상도를 유지하는 데 도움이됩니다.