판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 Gen2 #9356898

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2는 UV 또는 전자 빔 리소그래피를위한 포토 esist 장비입니다. 높은 정확도, 고속, 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 완벽한 기능의 시스템입니다. 이 장치 는 여러 가지 "테크놀로지 '를 탑재 하여, 석판 공정 의 모든 단계 에서 탁월 한 성능 을 발휘 할 수 있다. 기계의 중심에는 정밀 xy 단계가 있습니다. 이것 은 "기판 '이 전체 석판화 과정 중 에 항상 안전 하게 보관 되도록 하는 정교 한 도구 이다. 정밀 xy-stage의 각도 해상도는 1äm이며, 나노 미터 스케일 정확도로 정렬 된 패턴을 생성 할 수 있습니다. "스테이지 '에는 또한 동력 진공 자산 이 갖추어져 있어서 석판 촬영 중 에" 스테이지' 에 대하여 기질 을 굳게 고정 시켜 화학 공정 에 있어서 뛰어난 성능 을 제공 한다. 이 모델에는 다양한 이미징 광학도 장착되어 있습니다. 이를 통해 노출 과정에서 조명을 균등하게 분배할 수 있으며, 일관되고 재현 가능한 패턴화 (patterning) 과정이 달성됩니다. 이 장비에는 조정 가능한 셔터 (shutter) 가 있는데, 이 셔터는 노출 중 가로등 입구를 제한하고, 정확한 석판 공정을 보장하고, 가장자리 효과를 줄입니다. 이 시스템은 음성 작용 (negative-acting) 과 양성 작용 (positive-acting) 을 포함하여 다양한 화학 저항을 사용할 수 있습니다. 가변 "에너지 '용량 을 사용 함 으로써" 레지스트' 는 원하는 수준 에 정확 하고 확고 하게 노출 될 수 있다. 이 장치에는 리소그래피 후 청소 시간이 크게 단축되는 드라이 클리닝 기술이 내장되어 있습니다. MICROTEC ACS 300 Gen2 포토 esist 머신은 뛰어난 반복성을 갖춘 고정밀 리소그래피를 제공하도록 설계되었습니다. 정밀 xy 단계, 조절 가능한 광학 및 가변 에너지 용량 특징은 나노 미터 스케일 리소그래피에 이상적입니다. 내장 드라이 클리닝 기술 (dry cleaning technology) 은 석판화 후 청소가 최소화되고, 다른 화학 저항과의 광범위한 호환성은 다양한 응용에 적합합니다.