판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9365974

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200은 반도체, 마이크로 일렉트로닉 및 광전자 장치 제작에서 광범위한 고급 응용 분야를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 다용도, 저비용 도구이며, 높은 처리 속도, 정확한 제어, 뛰어난 반복성으로 유명합니다. MICROTEC ACS200은 빠른 웨이퍼 로딩 및 스트리핑 프로세스를 용이하게하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 홀더에 단일 웨이퍼 스핀 개발 솔루션을 포함하고 있으며, 레지스트 스트립 (resist strip), 포토리스 코트/개발 (photoresist coat/development), 스퍼터 에칭 (sputter etching) 과 같은 처리 단계를 위해 높은 정확성과 빠른 응답을 제공하는 사용하기 쉬운 5축 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 2 개의 400W UV 램프와 2 차원 패턴 노출을 포함하여 향상된 해상도를 제공합니다. 또한 KARL SUSS ACS-200에는 인력 및 장비 작동 중 최대한의 안전을 보장하기 위해 인터 록이 내장되어 있습니다. 향상된 장치 모니터링을 위해 공기 공급, 재순환 및 보안 시스템이 추가됩니다. 전체적으로, ACS-200 은 빠르고, 안정적인 작동을 위해 설계되었으며, 온보드 하드웨어는 다양한 처리 작업에 비해 탁월한 반복성을 제공합니다. KARL SUSS ACS 200에는 또한 여러 유용한 소프트웨어 프로그램이 포함되어 있어 생산성을 높이고 기계의 빠른 설치/작동을 용이하게합니다. 이 소프트웨어를 사용하여 사용자는 워크플로를 프로그래밍하고 제어할 수 있으며, 매우 정밀하게 다양한 컴포넌트의 필름 두께 (Film Thickness), 레이어 프로파일 (Layer Profile) 및 지름을 평가합니다. 또한, 사용자는 이 소프트웨어를 통해 프로세스 변형을 파악할 수 있으며, 사용자가 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있도록 지원합니다. 결론적으로, ACS 200은 다양한 까다로운 프로세스를 위해 만들어진 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 도구입니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 매개변수에 대해 빠르고 정확한 개발 및 균일성을 제공하므로 장비의 활용도를 극대화할 수 있습니다. 또한 포괄적인 안전 (Safety) 기능과 다양한 소프트웨어 옵션을 제공하여 생산성 및 정확성을 향상시킵니다.