판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9353323
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ID: 9353323
빈티지: 2001
Coater / Developer system, parts machine
Missing parts:
Robot
Loadport
Hot plate
Chuck
PC
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200은 웨이퍼 레벨 장치의 제작에 사용하도록 설계된 포토 esist 코팅 및 개발 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 또는 기타 미세 구조 (microsstructure) 의 표면에 복잡한 기능을 정확하게 에칭하여 고급 마이크로 전자 장치 (micro electronic) 및 옵토 전자 장치 (opto-electronic device) 를 만드는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 3 개의 주요 부품, 노출 스테이션, 코팅 스테이션 및 스핀 린스 스테이션으로 구성됩니다. 이 기계는 다양한 개발자 솔루션을 사용하여 직접 코트, 베이크, 개발을 위해 설계되었습니다. 노출 스테이션은 자외선 (UV) 빛을 사용하여 포토 esist를 웨이퍼 표면에 균일하게 치료합니다. 자외선 (UV light) 은 레티클을 통해 웨이퍼에 집중되어 있으며, 에칭이 필요한 영역을 노출시킵니다. 빛의 노출은 개인용 컴퓨터 (Personal Computer) 를 통해 프로그래밍되고 제어되며, 노출은 원하는 수준으로 설정할 수 있습니다. 코팅 스테이션은 포토 esist 재료를 웨이퍼 표면에 적용하는 데 사용됩니다. 포토레지스트 (photoresist) 재료는 카트리지 내에 포함되어 있으며, 필요한 경우 컴퓨터에 설치됩니다. 그런 다음, 광전자는 스핀 코팅 기술을 사용하여 짝수 필름에서 웨이퍼 표면에 코팅됩니다. 스핀 린스 스테이션 (spin-rinse station) 은 웨이퍼 표면에서 과도한 포토 esist 물질을 제거하는 데 사용됩니다. 웨이퍼는 스핀 린스 스테이션 내부에 배치되어 MICROTEC D 810 개발자 또는 KARL SUSS D 820 개발자와 같은 화학 용액에 잠깁니다. 그 다음, 이 용액 은 "웨이퍼 '표면 에 있는 광전물질 과 혼합 되어, 과도 한 물질 을 용해 시킨다. "린스 '공정 이 끝나면" 웨이퍼' 를 제거 하여 공기 건조 할 수 있다. MICROTEC ACS200은 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구로, 복잡한 마이크로 스코픽 기능을 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다. 이 제품은 안정적이고 일관성 있는 성능을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 기능을 통해 사용자는 디바이스의 생산량을 극대화할 수 있습니다 (영문). 이 자산은 마이크로 전자 (micro-electronic) 및 옵토 (opto) 전자 장치의 생산에 널리 사용되며 최첨단 기술 개발 및 제조에 유용한 도구입니다.
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