판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9207173

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200은 박막 장치 제작에서 두꺼운 photoresist 패턴화에 이르기까지 여러 응용 분야를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 마이크로미터 사이트 (micrometer site) 와 단일 수직 스테이지 (vertical stage) 를 사용하여 최대 8 인치 크기의 기판을 효과적으로 처리 할 수 있습니다. 133mm XY/틸트 자동차 좌표 장치 (tilt automotor coordinate unit) 를 사용하면 패턴화에 정확하고 안정적인 이동이 가능합니다. 또한, 기계의 회전 능력과 결합 된 스핀 척 (spin chuck) 은 기판에 포토 esist를 균일 하게 적용 할 수있다. MICROTEC ACS200에는 최적화된 사용자 성능을 위한 여러 기능이 포함되어 있습니다. 이 공구는 결정질 석영 공정 챔버 (crystalline quartz process chamber) 를 특징으로하며, 필름 증착 공정을 철저히 통제하고 구워지지 않은 저항 공정 시스템에서 전형적인 오염 위험을 완화합니다. 피보팅 도어는 4 개의 곡면 유리 디자인으로 구성되어 있으며, 전체 안전 및 사용자의 가시성을 향상시킵니다. 또한, 이 포토레시스트 (photoresist) 자산은 사용자의 요구사항에 대한 사용자 정의를 용이하게 하기 위해 미리 로드된 다양한 패턴화 (patterning) 프로그램에 대한 액세스를 제공하는 강력한 컨트롤러에 의해 제어됩니다. KARL SUSS ACS-200은 다음과 같은 광범위한 처리 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다: 네거티브, 중간 및 긍정적 인 저항 개발; 박막 장치의 진공 증착; 화학 건식 에칭; 애싱 처리; 스택 가능한 저항 프로세스. 모델의 카탈로그화된 프로세스와 레시피 (recipe) 도 컨트롤러에 로드되어 사용자가 도구와 웨이퍼를 조정하는 데 필요한 시간 (time investment) 을 없애 줍니다. 또한, 전체 포토 esist 설정은 부식을 방지하기 위해 견고하고, 모든 알루미늄 구조로 만들어졌으며, 부식에 강한 검은 에폭시 페인트로 적절하게 코팅됩니다. 궁극적으로 KARL SUSS/MICROTEC ACS200은 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 장비로 사용자에게 다양한 정밀 처리 기능을 제공합니다. 마이크로미터 스테이지 (micrometer stage) 와 단일 수직 스테이지 (single vertical stage) 는 모든 크기의 기판을 처리할 수 있는 정확성을 제공하는 반면, 고급 컨트롤러는 다양한 프로그램과 프로세스에 액세스할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 오염 위험을 줄이고, 안전하고, 쉽게 사용할 수 있도록 설계되었습니다.