판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9150840

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200은 다양한 응용 프로그램 및 양식에 사용하도록 설계된 포토리스 처리 장비입니다. 이 시스템을 통해 연구자들은 정확한 제어, 정확성 및 정밀도로 photoresist를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 박막 이미징, 개발 및 소프트 베이크 (soft-bake) 의 세 단계로 마이크로 리토그래피 패턴을 제작 할 수있는 듀얼 빔 스캐닝 기능으로 작동합니다. 기계는 다양한 기판 높이를 수용하기 위해 Z 스테이지 (Z-Stage) 로 설계되어 수직 위치를 자동으로 조정할 수 있습니다. 디지털 카메라 (digital camera) 는 원하는 photomask를 만들기 위해 처리할 수 있는 효율적인 이미지 캡처 방법을 도구 사용자에게 제공합니다. 이 자산은 효율을 극대화하기 위해 하나의 프로세스에서만 모든 관련 리소그래피 (lithography) 작업을 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 하나의 머신 셋업 (machine setup) 만 활용하여 높은 수준의 반복성, 신뢰성 및 일관성을 제공합니다. 또한, 장비는 고유 한 카세트-카세트 (cassette-to-cassette) 플랫폼으로 설계되어 사이클당 최대 40 개의 서로 다른 웨이퍼를 독립적으로 처리할 수 있습니다. 안전하고 정확한 작동을 위해 MICROTEC ACS200은 여러 수준의 안전 프로토콜을 사용합니다. 이 시스템은 리소그래피 빔에 불필요한 노출을 방지하는 자동 셔터 (automatic shutter) 로 설계되었으며, 이 장치는 빔 전류 (beam current), 노출 시간 (exposure time) 및 스캔 시퀀스 (scan sequence) 와 같은 여러 매개변수에 대해 독립적으로 제어합니다. 또한, 기계에는 레이저 상태를 모니터링하고 필요한 경우 프로세스를 중단하는 Class 1 Laser Interlock Tool이 장착되어 있습니다. KARL SUSS ACS-200은 또한 사용자 생산성과 효율성을 극대화하도록 설계되었습니다. 에셋은 널리 사용되는 다양한 CAD 형식을 지원하며, 데이터는 USB 플래시 드라이브에 저장할 수 있습니다. 또한 사용자는 특정 요구 사항에 따라 사용자 정의 소프트웨어를 만들 수 있습니다. 또한 백라이트 LCD 화면은 원활한 작동과 정확한 생산에 대한 직접적인 성능 모니터링을 제공합니다. 자동 프로세스와 정확한 컨트롤의 조합을 활용하여 KARL SUSS/MICROTEC ACS-200은 이상적인 포토 esist 처리 장비입니다. 이 시스템은 효율적이고, 안정적이며, 일관된 photomask 생성 방법을 제공하여 리소그래피 프로세스를 간소화합니다. 궁극적으로 KARL SUSS ACS 200은 정확하고 정확한 photoresist 처리가 필요한 사용자에게 빠르고 효과적인 솔루션을 제공합니다.