판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293619870
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ID: 293619870
빈티지: 2013
(2) Coater / (2) Developer system
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2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200은 photolithography 및 wafer exposure 등 다양한 응용 분야에 적합한 포토 esist 장비입니다. 이 장치를 사용하면 UV 광도 및 노출 시간에 대한 설정에 쉽게 액세스하고 조정할 수 있습니다. MICROTEC ACS200은 통합 노출 챔버 (exposure chamber), 라이트 실드 (light shield) 및 현장에서 검증된 선형 스테퍼 모터 (linear stepper motor) 를 갖춘 편리한 설계로 사용자가 웨이퍼를 정확하게 배치하고 최대의 노출 균일성과 반복성을 보장합니다. 또한, 이 시스템은 수직 초점 조정을 돕기 위해 조정 가능한 램프 메커니즘과 함께 마스크 변경을 방지하는 셔터리스 (shutter-less) 작동을 자랑합니다. KARL SUSS ACS-200의 힘은 MICROTEC 고급 이미징 소프트웨어 (Advanced Imaging Software) 에서 지원되며, 이 소프트웨어는 완전한 프로그래밍 가능한 기능을 갖춘 종합적인 노출 매개 변수 데이터베이스를 제공합니다. 이 기능을 통해 ACS 200 은 단일 실행에서 한 번에 최대 5 개의 마스크를 인쇄할 수 있으며, 여러 웨이퍼 크기에 대한 노출 설정을 저장할 수 있습니다. KARL SUSS ACS200은 또한 고급 웨이퍼 노출 정확도와 빠른 노출 율을위한 진공 척을 갖추고 있습니다. 노출 챔버 (Exposure Chamber) 는 다양한 기판 모양과 크기에 적합하며, 2 개의 통합 제어 시스템 (스테이지 및 노출 제어에, 다른 하나는 셔터 제어에) 이 장착되어 있습니다. 또한 온도 안정성은 재현 가능한 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. KARL SUSS ACS 200은 통합 액체 냉각 장치를 통합하여 고감도 결과를 위해 좁은 온도 범위를 유지하는 데 도움이됩니다. 요약하자면, MICROTEC ACS-200 포토레시스트 머신은 고급 기능과 안정성을 제공하는 고급 고성능 도구입니다. 이를 통해 사용자는 균일성 (unifority), 반복성 (repeatability) 및 온도 제어를 유지하면서 다양한 노출 프로세스를 정확하게 실행할 수 있습니다.
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