판매용 중고 KAIJO SRT-300 #9127768

KAIJO SRT-300은 반도체 산업에 사용되는 포토 esist 장비입니다. photolithography 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 특정 기판에서 정확하고 매우 상세한 패턴 디자인을 생성 할 수 있습니다. 광전자 시스템은 반도체, 메모리 칩 및 기타 중요한 전자 부품을 만드는 데 사용됩니다. SRT-300 포토 esist 유닛은 집중, 지향 광학 에너지원을 사용하여 처리 된 기판에 정확한 에칭 효과를 생성합니다. 기계는 KrF 엑시머 레이저 (KrF Excimer Laser), I 라인 및 기타 더 높은 에너지 자외선 광원과 같은 다양한 에칭 소스를 사용할 수 있습니다. 또한 패턴 데이터 (pattern data) 를 저장하여 복잡하고 상세한 설계를 각 기판에 에칭하거나 석판화 (lithographing) 할 수 있습니다. KAIJO SRT-300은 마스크 정렬 프로세스를 사용하여 각 기판에 패턴 데이터를 정확하게 적용합니다. 높은 정렬 정확도 (High Alignment Accuracy) 와 높은 처리량 (High Throughput) 을 제공하여 높은 정밀도로 사용자 정의 기판을 빠르게 생성할 수 있습니다. SRT-300 프로세스는 또한 정확한 저항 프로파일 제어 (resist profile control) 와 프로세스 제어 및 예측 (forecast) 을 통해 에칭 프로세스의 정밀도를 실제로 연마합니다. 또한, 이 도구는 최적의 기판 출력을 보장하기 위해 반복 가능한 wafer-to-wafer 정렬 및 우수한 오버레이 등록이 있습니다. KAIJO SRT-300에는 프로세스 및 운영자를 보호하는 데 도움이 되는 내장 안전 기능도 있습니다. 여기에는 다음과 같은 기능이 포함됩니다. 정렬 정확도를 확인하는 자동 제로 메커니즘, 과잉 잔기 처리를 용이하게하는 주사기 액세스 린스 스테이션, 공정 챔버 (process chamber) 에서 작은 오염 물질을 제거하기위한 2 단계 필터, silts 보호 및 상식 안전 작동, 기대되는 출력 품질 보호. 전반적으로 SRT-300은 반도체 제조 공정에서 포토레스 시스템을위한 최첨단 기술을 제공합니다. 매우 정확한 에칭을 제공하여 최적의 웨이퍼 및 기판 품질을 제공합니다. 자산은 또한 보호 (protection) 및 안전 (safety) 기능을 제공하여 에칭 (etching) 프로세스가 불필요한 결과없이 정확하게 수행되도록 합니다.