판매용 중고 KAIJO RT-985T #9134882

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KAIJO RT-985T
판매
제조사
KAIJO
모델
RT-985T
ID: 9134882
Organic deposition film stripper 2000 vintage.
KAIJO RT-985T는 반도체 미세 구조의 생산을 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 자외선 방사 (UV radiation) 에 대응하여 기판에 전기 마스킹 층을 선택적으로 생성하기 위해 재료의 비선형 에너지 흡수 특성 (non-linear energy absorction characterics) 을 이용 할 수 있다는 기본 전제에서 작동합니다. 코어에서 RT-985T는 439nm Deep UV 레이저 소스를 사용하여 얇은 포토 esist 물질을 노출시킵니다. 자외선 (UV light) 이 광 esist 층에 흡수됨에 따라, 화학 반응은 기질에 비 전도성, 교차 연결 폴리머 네트워크를 분산시키는 것을 초래한다. 완전 자동화된 이 "시스템 '은 바람직 하지 않은 가열 없이 일반적 인" 포토레시스트' 층 을 정확 하게 노출 시킬 수 있으며, 그것 은 그 장치 를 손상 시킬 수 있다. 또한 KAIJO RT-985T 장치에는 독립적 인 IR 소스 및 셔터 활성화 기능도 있습니다. 셔터 작업 중 IR 방사선 (IR radiation) 은 노출 순간 동안 일관된 온도를 유지하는 데 도움이되며, 그렇지 않으면 빛의 전달을 방해 할 수있는 천연 파편 증착을 감소시켰다. 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 사용하여, 기계 연산자는 최적의 성능을 위해 노출 용량에 대한 효율적인 계산으로 나노 미터 스케일에서 기판 패턴을 제어 할 수 있습니다. 이 기능은 K-GATE 툴킷 (K-GATE Toolkit) 을 통해 추가로 관리되며, 이 툴킷은 매우 정확한 설계를 위해 기판에서 조사된 영역을 동시에 제어할 수 있습니다. RT-985T 도구에서 제공하는 주목할만한 편의성은 작업 리콜 기능입니다. 이렇게 하면 연산자가 연관된 저장 파일 (으) 로부터 작업을 쉽게 리콜하고 몇 분 안에 작업을 시작할 수 있습니다. 임베디드 버퍼 관리 (Embedded Buffer Management) 를 통해 생산 시간이 단축되어, 자산이 사용할 수 없는 마스크의 스테이징을 미리 예상할 수 있습니다. 요약하자면, KAIJO RT-985T는 신뢰할 수 있고, 모든 기능을 갖춘 포토레스 모델로, 반도체 미세구조의 높은 정확도 생산에 적합합니다.
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