판매용 중고 KAIJO RT-844A #9134688

KAIJO RT-844A Photoresist Equipment는 반도체 기판에서 photoresist를 코팅하는 데 사용되는 정확하고 자동화 된 시스템입니다. 이 장치는 다양한 photoresist와 함께 사용하기에 적합합니다. 사진 촬영, 박막 증착, 에칭, 패턴 전달, 유전체 증착과 같은 응용 분야에 적합합니다. 기계는 4 단계 챔버, 스핀 코터, 2 개의 스핀 스택 및 운송 도구로 구성됩니다. 약실의 첫 단계 인 전처리 단계 (pre-processing stage) 에는 포토 esist가 품질 결과를 최대화 할 수있는 조정 메커니즘이 장착되어 있습니다. 또한 정적 빌드 업을 줄이기 위해 환기 자산이 포함되어 있습니다. 두 번째 단계는 포토 esist 코팅 챔버입니다. 이 챔버에는 스핀 코터, 2 개의 스핀 스택 및 터보 펌프가 있습니다. 스핀 코터 (spin coater) 는 스핀의 각도와 속도를 제어하며, 다양한 포토 esist 공식에 대해 쉽게 조정 할 수 있습니다. 2 개의 스핀 스택은 2 개의 스핀 코터를 동시에 지원하며, 주기 시간이 줄어들고 처리량이 증가합니다. 터보 펌프 (turbo pump) 는 챔버를 즉시 대피시켜 코팅이 균일하고 균일하게 유지되도록 합니다. 세 번째 단계는 노출 챔버입니다. 이 모델에는 노출을 정확하게 조정 할 수있는 고해상도 디스플레이가 있습니다. 또한 빔 프로파일 모니터 (Beam Profile Monitor) 를 사용하여 원하는 노출 수준에 도달할 수 있습니다. 노출 챔버에는 다중 패턴 마스크 정렬기 (multi-pattern mask aligner) 가 있어 빠르고 정밀한 정렬이 가능합니다. 네 번째 단계는 노출 후 베이크 챔버입니다. 이 약실 은 "포토레지스트 '를 가열 시켜 최적 의 특성 에 도달 하도록 하는 데 사용 된다. 온도 조절 히터는 photoresist가 원하는 수준으로 가열되도록 보장합니다. 이 장비 는 또한 "타이머 '로" 포토레지스트' 를 구운 시간 을 조절 하여 정확 하고 일관성 있는 결과 를 낼 수 있다. 전반적으로, RT-844A photoresist 시스템은 신뢰할 수 있고, 정확한 단위로, 다양한 photoresist 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 이 기계는 4 단계 챔버, 스핀 코터, 2 개의 스핀 스택 및 노출 챔버로 우수하고 일관된 결과를 제공합니다. 사진 촬영, 박막 증착, 에칭, 패턴 전달 및 유전체 증착에 이상적입니다.