판매용 중고 KAIJO RT-824T-1 #9134881

KAIJO RT-824T-1 Photoresist Coating Equipment는 다양한 차원의 기판에 고정밀 박막 증착을 적용하도록 설계된 완전 자동화 된 스핀 코터 시스템입니다. 그 응용 프로그램은 포토 esist 스핀 코팅에 적합합니다. KAIJO Photoresist Coating Unit은 고점도 및 저점도 재료와 균일 한 박막 증착을 제공하는 혁신적인 2 단계 분배 프로세스를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 분배 단계, 스핀 코팅 단계, 분배 후 단계 (post-dispense stage) 가 포함되어 있어 재료의 쉽고 효율적인 처리가 가능합니다. 디스펜스 단계 (Dispense Stage) 는 네거티브 및 양성 감광 저항 제제 (positive photosensitive resist formulation) 와 같은 다양한 유형의 포토 esist 재료에 맞게 최적으로 설계된 노즐 디자인을 사용하여 균일 한 박막 증착을 제공합니다. 분배 단계는 PLC (Programmable Logic Controller) 를 통해 제어 및 모니터링되는 펄스 스프레이 메커니즘을 특징으로합니다. 이를 통해 정확하고 반복 가능한 박막 증착이 가능합니다. 스핀 코팅 스테이지에는 드라이브 스핀들이 있으며, 이는 4 개의 깨끗하고 유지 보수가없는 제어 채널로 구성됩니다. 이것은 균일 한 박막 증착에 필수적인 균형 스핀을 보장합니다. 또한, 스텝 모터 드라이브 (step motor drive) 는 회전 속도의 반복성을 보장하며 박막 매개변수 설정을 보다 효과적으로 제어합니다. 분배 후 (post-dispense) 단계는 수직 및 수평으로 이동하는 고유한 광학 기판 홀더를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 연산자가 홀딩 힘 (holding force) 과 패턴 정렬 (pattern alignment) 을 조정하여 연산자에게 추가 제어 및 유연성을 제공합니다. 결론적으로 RT-824T-1 Photoresist Coating Tool은 photoresist 박막 증착에 이상적인 비용 효율적이고 효율적인 솔루션입니다. 2 단계 분배 프로세스 (Dispense Process) 와 조절 가능한 분배 후 단계 (Post-dispense stage) 는 다양한 박막 증착 요구를 달성하기위한 유연한 플랫폼입니다. KAIJO Photoresist Coating Asset은 매우 정확하고, 사용하기 쉽고, 다른 크기의 기판에 고정밀 박막 침전물을 적용 할 수 있습니다.