판매용 중고 KAIJO 1030/1108 #9149824

KAIJO 1030/1108
ID: 9149824
웨이퍼 크기: 8"
Wet bench, 8".
KAIJO 1030/1108은 일본 재료 회사 KAIJO가 개발 한 포토 esist 장비입니다. 광전자 (photoresist) 시스템은 미세 전자 부품 및 장비 제조에 사용되며, 화학 및 에칭 공정 전에 표면을 빛으로 민감화시키는 데 사용된다. KAIJO 1030/1108은 4 개의 구성 요소가있는 액체 농축 광사 시스템입니다. 알칼리 (염기) 농축염, 산 (활성화 제) 농축액, 총 3 개의 저항 필름 및 에칭 과정에서 저항 필름과 함께 사용할 개발자. KAIJO 1030/1108은 크롬 도금, 드라이 에칭 (dry-etching) 등 다양한 저항 공정에서 사용할 수있는 독립형 솔루션입니다. "알칼리 '농산물 은 저항제 의 염기 역할 을 하는 반면, 산농축물 은 활성제 혹은 감수제 이다. 결합 된 농축액은 미세하게 용해, 활성화 된 후, 필요한 저항을 위해 기질에 적용되어야한다. 이 "레지스트 '단위 는, 액체 농도 가 기질 에 쉽게 흡수 되어, 뛰어난 감도 를 제공 하기 때문 에, 얇은 물질 에 사용 하는 데 특히 유용 하다. 카이 조 1030/1108 (KAIJO 1030/1108) 은 또한 유기 용매에 대한 내성이 높아 더 다양한 프로세스 유형에서 사용될 수 있습니다. 저항 필름은 기판 및 저항 타입과 신중하게 일치해야하며, 3 개의 저항 필름 (resist film) 은 유연성을 제공하고 에칭 결과를 최적화해야합니다. 그런 다음 개발자는 에칭 후 나머지 저항 필름을 용해하는 데 사용됩니다. KAIJO 1030/1108 (KAIJO 1030/1108) 은 매우 다재다능하고 고성능 포토리스트 머신이며 다양한 에칭 프로세스에 적합합니다. 그것은 긴 선반 수명과 쉬운 적용으로 뛰어난 저항 범위의 균일성을 제공합니다. 농축액은 제어 된 두께로 강요되며, 쉽게 적용 될 수 있으며, 폐기물이 거의 또는 전혀 없는 균일 한 결과를 보장합니다.
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