판매용 중고 JEOL JFC-1600 #293621202
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JEOL JFC-1600은 반도체 생산에 사용하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 반도체 칩에 정밀 부품 (precision component) 과 기능을 형성하는 데 사용되는 제조 공정의 중요한 부분입니다. 이 포토리스 (photoresist) 시스템은 특정 패턴으로 웨이퍼 표면을 노출시키기 위해 고도로 조명된 광원을 제공하는 노출 소스 (exposure source) 를 특징으로합니다. 이 광원은 일관된 패턴 정확성을 위해 정확한 양의 광원 (light exposure) 을 보장하도록 구성 가능합니다. 노출 소스는 전동 웨이퍼 스테이지 (Motorized Wafer Stage) 에 의해 뒷받침되며, 정확한 배치 및 정확한 노출 시간을 통해 여러 웨이퍼 노출이 가능합니다. 이 노출 장치는 조정 가능한 스팟 크기와 고급 가변 포커스 요소가있는 고급 가변 포커스 렌즈 (advanced variable focus lens) 를 사용하여 포커스, 반음계 수차 및 왜곡을 정확하게 제어합니다. 이 기계는 최대 8 인치 직경의 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 노출 사이트 사이의 간격을 조정할 수 있습니다. 노출 사이트 크기는 조절 가능하며 500 미크론에서 70 미크론까지 다양합니다. 노출 소스는 최대 4 개의 조정 가능한 노출 소스 라인을 특징으로하며, 다중 단계 노출이 가능합니다. 이 도구는 작업 및 이해를 효율적으로 수행하기 위해 내부 LCD 디스플레이 (Insidal LCD Display) 에서 강조 표시된 노출 설정 (Exposure Settings) 과 작업 (Operations) 의 시각을 포함합니다. 이를 통해 매개 변수 조정, 관리 및 모니터링을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 자산은 IP 를 보호하며, 원격 모니터링 및 관리를 위해 로컬 이더넷 환경에 연결할 수도 있습니다. 안전성을 위해, 이 모델에는 안전 경비원 (Safety Guard) 과 장비가 사용 중일 때 활성화되는 커버가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 표면의 과잉 노출을 방지하기 위해 자동 노출 중단 (Automatic Exposure Interruption) 이 장착되어 있습니다. 마지막으로, 이 장치에는 웨이퍼 표면의 오염을 줄이기 위해 전용 클린 룸 에어컨 머신이 포함되어 있습니다. 이 포토레지스트 (photoresist) 도구의 고성능 및 효율성은 거의 모든 반도체 생산 응용에 완벽한 도구가됩니다. 이 제품은 고정밀 반도체 칩을 생산하려는 모든 사람에게 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 옵션입니다.
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