판매용 중고 JEOL JFC-1600 #293597805

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제조사
JEOL
모델
JFC-1600
ID: 293597805
Auto fine coater.
JEOL JFC-1600 포토 esist 장비는 고급 반도체 재료의 정밀 처리를 위해 설계된 다기능 고급 장비입니다. 집적 회로, 나노 의학, DNA 시퀀싱 등의 제작에 사용됩니다. 이 시스템은 컴팩트하며 리소그래피 (lithography), 에칭 (etching) 과 같은 고급 반도체 프로세스에서 개발 및 R&D 응용 프로그램에 가장 적합합니다. 프로세스 반복성과 최적화된 처리량을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 최소 가동 중지 시간으로 더 정확한 프로세스를 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 전체 자동화 시스템과 프로세스 피드백을 위한 자체 관리 모니터링 툴 (monitoring tool) 이 장착되어 있습니다. 정확도가 높은 서보 모터 구동 웨이퍼 스테이지와 잉크젯 인쇄 헤드 (inkjet printing head) 이동을 통해 빠르고 정확한 프로세스 결과를 제공합니다. 맞춤형 개발 소프트웨어 및 컨트롤러 장치를 장착 할 수 있습니다. 에셋은 최첨단 비전 모델 (State-of-Art Vision Model) 로, 처리 중인 재료의 결함을 감지하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 광학 비전 장비는 또한 다른 하위 밀리미터 기능을 모니터링 할 수 있습니다. JEOL JFC 1600 포토 esist 시스템에는 고출력 LED (Power LED) 및 할로겐 램프가 장착되어 있어 더 빠른 노출과 향상된 해상도를 제공합니다. 고급 다중 파장 빔 스캔 기술을 통해 정확한 매개 변수 제어를 할 수 있습니다. 온도 관리 장치는 또한 개선 된 프로세스 반복성을 위해 매우 정밀한 온도 제어를 위해 설계되었습니다. 이 기계는 또한 현장 이미지 처리 및 현장 품질 제어를 위한 검사 기능을 갖추고 있습니다. 고품질 프로세스 관리를 위해 통계 프로세스 제어 툴과 통합됩니다. JFC-1600 포토레시스트 (photoresist) 자산은 고급 반도체 재료를 처리하기 위한 효율적이고 안정적인 플랫폼입니다. 고급 반도체 공정 기술의 연구 개발에 이상적입니다. 정교한 자동화 모델 (Automation Model) 과 매우 정밀한 프로세스 관리 기능을 통해 정밀 반도체 기술을 개발할 수 있습니다.
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