판매용 중고 JAS JAS-591TM #9360825

JAS JAS-591TM 포토 esist 장비 (Photoresist Equipment) 는 웨이퍼 레벨 제작의 산업 생산에 사용되는 포토 esist 재료의 개발 및 특성을 위해 설계된 전문 기기입니다. 이 시스템은 고속 로봇 암 (robotic arm unit) 을 중심으로하며, 이를 통해 기판 웨이퍼 표면에 다양한 포토 esist 물질을 정확하게 적용 할 수 있습니다. 이 암은 매우 정확한 스테이지 어셈블리와 마이크로 포지셔닝 플랫폼 (micro-positioning platform) 으로 설정되어 있으며, 이 플랫폼은 3차원 모두에서 제어 및 조정이 가능합니다. JAS-591TM은 로봇 암 외에도 빔 발전기, 고강도 레이저, 전극, 진공원 등 여러 가지 다른 구성 요소로 구성되어 있습니다. 빔 생성기 (beam generator) 는 레이저 및 전극과 함께 작동하여 기판 웨이퍼에서 미리 정해진 패턴을 세팅합니다. "레이저 '는 강도 를 조절 할 수 있어서 광저항 발달 을 정밀 히 제어 할 수 있다. 한편, 진공원은 사진에 저항하는 동안 챔버에서 일정한 저압 환경을 제공하는 데 사용된다. 이 기계에는 온도 모니터, 오실로스코프 (Oscilloscope), 히터 (Heater) 및 기타 다양한 센서를 포함한 다양한 진단 및 디스플레이 기기가 제공됩니다. 온도 모니터 (Temperature Monitor) 는 발달 과정에서 포토 esist 물질이 최적의 점도를 유지하는 반면, 오실로스코프는 기질 웨이퍼에 생성 될 때 포토 esist 패턴의 이미지를 측정하고 표시합니다. 한편, 히터는 포토 esist 개발 과정 전반에 걸쳐 챔버를 짝수 온도로 유지합니다. 마지막으로, 이 도구는 디지털 인터페이스 (digital interface) 를 사용하여 photoresist 개발 프로세스를 단순하고 복잡한 제어 할 수 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 레이저 전원, 패턴 크기, 레이어 두께 등 다양한 매개변수를 선택할 수 있습니다. 이러한 매개변수는 정밀도 및 제어가 뛰어난 복잡한 포토레시스트 (photoresist) 패턴을 생성하기 위해 개별적으로 조정할 수 있습니다. 간단히 말해, JAS JAS-591TM Photoresist Asset은 웨이퍼 레벨 제작 재료의 산업 생산을위한 귀중한 도구입니다. 이 모델의 고정밀 로봇 암 (robotic arm), 조절 가능한 레이저 (adjustable laser) 및 디지털 인터페이스 (digital interface) 조합은 포토리스 패턴 (photoresist pattern) 이 매우 정확하고 정확하게 개발 될 수 있도록 보장합니다. 이러한 구성 요소를 함께 사용하면 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 마이크로 제조 (micro-fabrication) 프로세스를 만드는 데 매우 다양하고 효과적인 도구가 됩니다.