판매용 중고 IZOVAC Heliosiz #9395189

IZOVAC Heliosiz는 매우 정확하고 일관성 있고 반복 가능한 마이크로 코팅 결과를 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 "코우팅 '은 여러 가지 기판 에 있는 복합적 인" 코우팅' 의 정확성 과 재현성 을 높여주는 단단 한 조종 과정 을 제공 한다. 이 시스템은 모든 코팅 매개변수와 통합 도량형 (Integrated Metrology) 을 완벽하게 자동화하여 신속한 프로세스 피드백 및 최적화를 지원합니다. 이 과정은 전자 빔 (EB) 또는 딥 -UV (DUV) 광 노출을 사용하여 기판에 저항층이 형성되는 것으로 시작됩니다. 그런 다음, 노출 된 저항층 은 "버퍼 '수성 발달 용액 을 사용 하여 개발 되어 원하는 표면 패턴 을 드러낸다. 다양한 노출 후 베이킹 및 포스트 개발 베이킹 옵션은 최적의 필름 형성을 보장합니다. 자동화된 소프트웨어 제어 장치를 사용하면 기판 난방, 노출 및 처리 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 프로세스 전반에 걸쳐 우수한 데이터 무결성 및 추적 기능을 제공합니다. 배치 간의 균일성을 보장하기 위해 기계에는 모든 프로세스 매개변수에 대한 자동 샘플링 (auto-sampling) 및 자동 튜닝 (automated tuning) 이 포함됩니다. 헬리오시즈 (Heliosiz) 는 특화된 루멘 라인 (lumen line) 기술을 사용하여 노출 헤드의 정확한 위치를 지정하여 저항 레이어의 중첩 가능성을 줄입니다. 정확한 노출 및 노출 시간 (imposure time) 은 높은 수준의 먼지 오염과 같은 다양한 과제를 고려하도록 수정 될 수 있습니다. 또한, 더 섬세한 저항층의 과잉 노출을 방지하기 위해, 필요한 경우, 노출 후 베이킹을 제공합니다. IZOVAC Heliosiz는 특수 염료 코팅 기능을 사용하여 장치에 다양한 코팅을 제공합니다. 이 기능은 섬세한 기능을 보호하고, 저항성 물질의 접착을 향상시키고, 민감한 활성 물질의 증착을 용이하게하는 데 사용될 수 있습니다. 공구가 수행하는 모든 코팅의 최고 성능은 적절한 도량형 (metrology) 도구를 사용하여 평가할 수 있습니다. 헬리오시즈 (Heliosiz) 는 다양하고 강력하며 정밀한 포토 esist 자산으로, 광범위한 기판에 대해 반복 가능한 코팅 결과를 제공합니다. 자동화된 프로세스 제어 (Automated process control) 및 프로세스 최적화 (process optimization) 를 통해 모든 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있으며, 도량형은 모델의 피드백을 신속하게 조정할 수 있습니다. 이는 운영 환경에서 검증된 일관된 프로세스 (consistent process) 의 토대를 제공합니다.