판매용 중고 IZOVAC Aurora G5 #9395190

IZOVAC Aurora G5
ID: 9395190
Single side metal coater Type: Vertical Coating method: Sputter Substrate: GaAs Wafer, (80) Substrates / Carriage (2) Carriages Membrane: (6) Metal layers Tact time: 336 sec Carrier moving speed: 0.245 m/min Cathode distance: ≥1000 mm Coating thickness: 120 mm ≤±5% Auto loading / Unloading (Portal type robot, TBD) Substrate uncoated area: <2 mm RGA PC, protection valve, ports Substrate size: Square with rounded edges Maximum: 108.5 mm x 108.5±0.5 mm Minimum: 106 mm x 106 mm Corner radius: 4.5±0.5 mm Edge exclusion: 2 mm around Thickness range: 0.55 mm - 0.65 mm Substrate coating area: 102 mm x 102 mm Acceptable temperature: ≤250°C Etching: Ion beam source (Linear) Remove 10 A - 50 A ≤±5% across each pallet Magnetrons: DC Planar magnetrons (MSS) (11) DC Rotary magnetrons (CMSS) Pumps: Dry mechanical pumps Turbo molecular pumps Cryogenic pumps.
IZOVAC Aurora G5 (IZOVAC Aurora G5) 는 다양한 현미경 응용 프로그램에서 안정적이고 정확한 결과를 제공하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 광저항 계 (photoresist system) 는 유리, 실리콘 및 기타 재료를 포함한 다양한 표면에 매우 정밀하고 미세한 구조를 만드는 데 사용됩니다. Aurora G5 시스템의 개선 된 디자인은 표준 photoresist 시스템보다 정밀도가 높습니다. 이 장치는 날카로운 코너 (sharp corner) 를 갖는 피쳐를 생성 할 수 있으며, 생성 된 피쳐의 각도를 호 (arc) 의 분 내로 정확하게 제어 할 수 있습니다. IZOVAC Aurora G5의 기능 크기 범위는 1 미크론에서 최대 40 미크론까지 조정할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 패키지를 사용하면 원 (circle), 나선 (spiral), 별 (star) 과 같은 복잡한 모양의 패턴을 3 차원으로 만들 수 있습니다. Aurora G5 머신은 자동화되어 효율적이고 무인 생산이 가능합니다. 사전 프로그래밍 가능한 도구는 매우 상세하고 반복 가능한 패턴을 생성하며, 눈부심 방지 보호 (Anti-glare protection) 및 빔 모니터 (beam monitor) 교정과 같은 기능은 photomask가 안정적으로 유지되고 전달되는 빛은 예상대로 작동합니다. G5 자산에는 더 밝고 정확한 향상된 UV 소스도 있습니다. 이로써 광전물질 (photoresist) 의 빠르고 정확한 노출이 가능해지며, 기존의 광전물질 (photoresist) 시스템에서는 불가능한 방식으로 미크론 스케일 패턴을 만들 수 있습니다. 자외선 노출 소스 (UV Exposure Source) 를 조정하여 보다 균일 한 커버리지를 생성하여 더욱 복잡한 기능을 개발할 수 있습니다. IZOVAC Aurora G5에는 고급 이미징 모델도 장착되어 있습니다. 이를 통해 포토 esist가 생성 한 피쳐를 신속하게 검사하고 평가할 수 있습니다. 전반적으로 Aurora G5 포토레시스트 (photoresist) 장비는 속도와 정밀도에 최적화되어 있으며, 자동화되고 사용자 친화적입니다. 다양한 미세 응용프로그램 (microscopic application) 에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하며, 날카로운 코너와 높은 기능 밀도로 복잡한 패턴을 만드는 안정적인 도구입니다.
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