판매용 중고 HITACHI MA-Cu04 #293662278

ID: 293662278
Copper electroplating system.
HITACHI MA-Cu04는 일본 기술 회사 HITACHI가 만든 포토리스 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 패브라이션 (microfabrication), 이미징 (imaging), 반도체 장치 제작 등 다양한 응용 분야에 사용되도록 설계되었습니다. 반도체 기판의 박막 (thin film) 을 0.02 "m '까지 떨어뜨리는 데 사용될 수있는 정확하고 정밀한 단위이다. MA-Cu04 기계는 특수 포토 esist 증착 도구를 사용하여 박막을 만듭니다. 실제 에치 공정이 시작되기 전에 기판을 코팅하는 데 3 차원 진공 코팅 챔버 (vacuum-coating chamber) 가 사용됩니다. 그런 다음 photoresist는 원하는 패턴에 따라 적용됩니다. 에칭 프로세스가 완료되면, 포토레지스트가 제거되고 패턴이 드러난다. 에셋은 고급 리소그래피 (lithography) 기술을 사용하여 코팅 과정에서 포토리스 패턴 (photoresist pattern) 을 만듭니다. 각 레이어마다 photoresist의 다중 노출 (multiple exposure) 이 사용되어 최적의 패턴을 달성합니다. 또한, MA-Cu04에는 다양한 레이어에 대해 다른 노출을 쉽게 사용할 수있는 범용 마스킹 모델이 있습니다. CCD 신호 검출기 (CCD signal detector) 와 다중 인식 장치 (multiple recognizing unit) 를 사용하면 에칭 중에 자세한 이미지를 얻을 수 있습니다. HITACHI MA-Cu04 는 안정적이고 정교한 장비로 뛰어난 해상도와 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 전자, 의료, 항공 우주 산업 등 다양한 산업의 많은 응용 분야에 사용되었습니다. 이 장치의 내구성과 성능은 마이크로 패브라이션 (microfabrication) 프로세스에 대한 대중적인 선택이었습니다.
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