판매용 중고 HEADWAY PWM 32 #9153890

제조사
HEADWAY
모델
PWM 32
ID: 9153890
Photo-resist spinner P/N: 9-22793.
HEADWAY PWM 32 Photoresist 장비는 집적 회로의 리소그래피를위한 정교한 도구입니다. 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 가변 주파수 레이저 소스 (variable-frequency laser source) 와 기판에 포토레시스트 재료를 적용하기위한 사용자 정의 소프트웨어를 결합합니다. HEADWAY PWM32의 가변 주파수 레이저 소스 (Variable Frequency Laser Source) 는 매우 광범위한 운영 매개변수에서 매우 높은 전력과 빠른 응답을 제공합니다. 여기에는 0-8W @ 145mJ/cm2의 광범위한 파장과 전력 수준이 포함됩니다. 레이저 소스는 또한 근거리 효과 억제 및 빠른 펄스 시퀀스 프로그래밍을 특징으로합니다. 특별 히 설계 된 "광학 '은 전체 기판 에 균일 한 빔 스팟 (beam spot) 크기 를 산출 하고 정밀 빔 스팟 (beam spot) 배치 를 위한 뛰어난 빔 제어를 만든다. 광학 장치 (optics) 를 사용하면 여러 유형의 회로에 대한 최적의 쓰기 위치를 매우 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 PWM 32에는 레이저 소스, 포토 esist 재료 및 기판을 제어하는 데 사용할 수있는 사용자 정의 소프트웨어가 있습니다. 소프트웨어는 사용자에게 간단하고 직관적인 인터페이스를 제공합니다. "레이저 '동력 과" 펄스' 속도 를 온전 히 제어 하고 특정 한 "패턴 '을 선택 하고 절약 할 수 있다. 또한 "소프트웨어 '를 사용 하여 광저항 두께 를 정확 하게 측정 하고, 그" 소프트웨어' 의 응용 을 제어 할 수 있다. PWM32의 혁신적인 디자인은 또한 정확한 photoresist 응용 프로그램 제어를 위해 자체 교정 장치를 제공합니다. 자가 보정 기계 (self-calibration machine) 는 매개변수의 변경 사항을 감지하고 그에 따라 조정하여 기판 전체에 걸쳐 정확하고 일관된 photoresist 적용을 보장 할 수 있습니다. 전반적으로 HEADWAY PWM 32 Photoresist Tool은 집적 회로의 석판화를위한 고급, 신뢰성, 매우 다양한 도구입니다. 이 제품은 뛰어난 정확도와 제어, 고감도 (high sensivities) 에서도 사용할 수 있으며, 자가 보정 자산은 포토레지스트 (photoresist) 응용을위한 매우 정확하고 신뢰할 수있는 모델입니다.
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