판매용 중고 HEADWAY LSC 510 #123052

HEADWAY LSC 510은 프로토 타입 개발 및 생산을 위해 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 상업용 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 주요 구성 요소 (전달 장치 및 리소그래피 장치) 로 구성되며 3 개의 LSC (Laser Scanning Controller) 로 구동됩니다. 배달 장치에는 레이저 다이오드 장치 (laser diode unit) 가 있으며, 이 장치는 포토 esist 프로세스에 에너지를 제공합니다. 원하는 패턴을 웨이퍼로 전송하는 것은 photomask 패턴으로 시작됩니다. 폴리메틸 메타 크릴 레이트 (PMMA) 는 마스크의 전면 표면에 적용되고, 그 뒤에 크롬 백금 또는 다른 금속의 층이 적용된다. 그런 다음, "마스크 '를 기판 위 에 놓고" 레이저 다이오드' 로부터 자외선 에 노출 시킨다. 이것은 레이저 다이오드 (laser diode) 가 도달 할 수있는 영역 만 노출시키면서 초기 포토 esist-covered 기판의 변화를 시작합니다. photomask 패턴을 기질로 옮기는 것은 석판화 단위 (lithography unit) 를 통해 달성된다. 이 장치에는 세 가지 구성 요소 (노출 단계, 스캔 장치 및 빔 생성기) 가 있습니다. 노출 단계에는 고정밀 전동 X-y 스테이지 (wafer) 와 노출 중 웨이퍼의 각도를 제어하는 틸트 머신 (tilt machine) 이 포함되어 있습니다. 스캔 도구는 레이저 다이오드를 포토 마스크 위로 정의된 방향으로 앞뒤로 이동합니다. 빔 발전기 는 "레이저 '와" 레이저 다이오드' 의 강도 를 담당한다. 리소그래피 장치는 3 개의 LSC (Laser Scanning Controller) 에 의해 제어되며, 이는 성공적인 포토 esist 프로세스에 필요한 위치 정확성과 컴퓨터 제어를 제공합니다. 그것들은 레이저의 고정밀 좌표를 제어하고, 포토 마스크 패턴을 모니터링하고, 필요한 정확도로 레이저 다이오드를 배치합니다. LSC 510은 빠른 프로토 타입 및 대량 생산에 이상적입니다. 정확하고 컴팩트한 설계로 다양한 유형의 환경, 프로세스에 적합합니다. 이 제품은 리소그래피 프로젝트를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션으로, 정확한 결과를 제공합니다.