판매용 중고 HEADWAY I-EC102 Type 2 #9094845

ID: 9094845
Photoresist Dispenser Control Box.
HEADWAY I-EC102 Type 2 포토 esist 장비는 뛰어난 균일성과 해상도를 갖춘 정밀 필름 제조를 위해 독점적 인 산업화 기술을 사용하는 반도체 포토리스 시스템입니다. 이 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 광범위한 응용 프로그램에 사용되도록 설계되었으며 디지털 리소그래피 (lithography) 의 생산성을 높이기 위해 입증되었습니다. I-EC102 Type 2 포토 esist 머신은 고속 포토 esist 스핀 코팅을 특징으로합니다. 이 스핀 코팅 기능을 사용하면 photoresist 물질을 거의 잃지 않고 균일 한 필름을 생성 할 수 있습니다. 포토 esist는 최대 8000 rpm의 속도로 최대 200mm 너비의 영역을 코팅 할 수 있습니다. 이것은 포토 esist 스핀 코팅 프로세스에 사용되는 특수 코팅 헤드 (coating head) 에 의해 가능하다. 포토 esist 도구는 스테퍼 제어 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이 스테퍼 제어 컨트롤러는 photoresist의 각 레이어가 균등하게 퍼져 있는지 확인합니다. 또한 스핀 속도 (spin speed) 를 조정하여 원하는 스핀 패턴을 달성할 수도 있습니다. 또한, 사용자는 노출 시간을 설정하여 특정 문제 해결 (resolution of resolution) 을 달성할 수 있습니다. 이 자산에 의해 생성 된 포토 esist는 내구성이 있고 환경 손상에 강합니다. 이 모델을 사용하면 매우 예리한 테두리 (border) 와 얇은 선폭 (linwidth) 의 구조와 패턴을 설계할 수 있습니다. "포토레지스트 '" 코우팅' 은 기본 층 을 손상 시킬 위험성 이 최소화 되면 쉽게 벗겨질 수 있다. 결론적으로 HEADWAY HEADWAY I-EC102 Type 2 photoresist 장비는 뛰어난 균일성과 해상도를 갖춘 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 photoresist 시스템입니다. 그것 은 광범위 한 "응용프로그램 '을 위해 설계 되었으며, 광물질 을 거의 상실 하지 않고" 필름' 을 생산 하는 데 사용 할 수 있다. 스테퍼 컨트롤 컨트롤러 (Stepper Control Controller) 는 각 레이어가 균등하게 분산되어 있는지 확인하고, 노출 시간을 조정하여 원하는 해상도의 이득을 달성할 수 있습니다. 더욱이, 이 장치 에 의해 생성 되는 광전물질 은 내구성 이 있으며, 환경 손상 에 내성 이 있다.
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