판매용 중고 HEADWAY EC 101 #114662

HEADWAY EC 101
제조사
HEADWAY
모델
EC 101
ID: 114662
Photoresist coater with 3.5" diameter bowl.
HEADWAY EC 101은 마이크로 전자 제조 공정을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 리소그래피 및 에치 공정 동안 기능화 된 기질의 보호를 위해 개발 된 수용성, 유기 황 중합체 (organosulfur polymeric photoresist) 물질이다. HEADWAY EC101 시스템은 저항 액체와 개발자 액체의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 저항성 액체 에는 중합체 (polymeric photoresist) 물질 이 들어 있는데, 이 물질 은 기질 에 적용 된다. 일단 자외선 (UV radiation) 에 노출되면, 중합체 물질은 가교되고 보호 층으로 작용한다. 개발자 액체는 리소그래피 (lithography) 또는 에칭 공정 (etching process) 이 완료되면 중합체 광사 물질을 용해시키는 데 사용된다. 이 과정을 '개발 (development)' 이라고하며 리소그래피 (lithography) 나 에칭 (etching) 이 발생한 후 기판에 남아있을 수있는 원치 않는 저항 물질을 제거하려면 필요합니다. EC 101 장치의 장점은 저비용, 빠른 처리 시간, 높은 해상도의 결과입니다. 또한 저항성 액체 및 개발자 액체는 Advanced Lithography, Deep Reactive Ion Etching (DRIE) 및 Chemical Mechanical Planarization (CMP) 을 포함한 광범위한 리소그래피 및 에치 기술과 호환됩니다. 다른 포토리스 (photoresist) 시스템과 비교하여 EC101의 저렴한 비용은 반도체 칩 제조업체에게 매우 매력적인 옵션입니다. 또한 고급 리소그래피 (lithography) 어플리케이션을 위한 안정적인 선택입니다. 고해상도 (high resolution) 결과를 통해 제조업체는 칩에 더 복잡한 디자인을 만들 수 있습니다. 또한 HEADWAY EC 101 기계는 화학적 화면 호환성이 있으므로 OEM (OEM) 을 통해 맞춤형 솔루션 개발과 관련된 비용을 줄일 수 있습니다. 또한, 처리 시간이 빨라지면 처리량이 높아집니다. 즉, 제조업체는 자원의 효율성이 높아질 수 있습니다. 요약하자면, HEADWAY EC101 도구는 모든 유형의 반도체 칩 제조에 적합한 선택으로, 비용 절감 효과와 뛰어난 해상도 결과를 제공합니다. 또한, 다양한 리소그래피 (lithography) 및 에치 (etch) 기술과의 광범위한 호환성을 통해 모든 종류의 요구에 안정적이고 적응할 수 있습니다.
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