판매용 중고 HEADWAY EC 101 #114660

HEADWAY EC 101은 반도체 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 스핀 코팅 시스템 (spin-coating system) 은 스핀이 최대 300 RPM인 감광 화학 물질을 통합하여 두께가 균일 한 웨이퍼 표면에 적용 할 수있는 스핀 코팅 시스템 (spin-coating system) 입니다. 이 장치 는 적절 한 회로 를 "칩 '과 제조 를 위한 다른 부품 에" 패턴' 을 붙이는 데 사용 될 수 있다. HEADWAY EC101은 운영자의로드 및 리필링, 스핀 코팅 모듈 및 노출 후 베이크 스테이션을위한 디스펜서 스테이션 (dispenser station) 이있는 단면 기계입니다. 이 도구는 최소 운영자 개입 (operator intervention) 을 통해 쉽게 유지 관리되도록 설계되었으며 정확한 흐름 제어, 낮은 방사선 노출 및 높은 수율을 제공합니다. 스핀 코팅 (spin-coating) 프로세스는 스핀 코팅 시간을 독립적으로 제어할 수 있도록 듀얼 노즐 에셋 (dual nozzle asset) 설계로 더욱 향상되었으며 고품질 웨이퍼 패턴화 결과에 필수적입니다. 이 모델에는 웨이퍼 (Wafer) 의 잔류 액체를 줄이고 오염을 제거하는 데 도움이 되는 통합 스핀 린스 (Spin-Rinsing) 및 블로우 오프 (Blow-off) 장비가 포함되어 있어 혼란과 품질 문제를 줄일 수 있습니다. 또한, 통합 가스 보조 노출 후 베이크 스테이션 (post-exposure bake station) 은 웨이퍼에서 생성 된 패턴의 선명도와 품질을 향상시키는 데 도움이됩니다. EC 101은 기존 단면 포토레스 (photoresist) 시스템과 호환되도록 설계되었으며, 진공 보호 및 냉각수 손실 감지 (coolant loss detection) 를 포함한 여러 안전 기능이 특징입니다. 또한 인체공학 (ergonomics) 및 사용 편의성 (ease-of-use) 을 위해 설계되어 시스템 작동이 최소화되도록 합니다. 소형 반도체 제조 (small and large semiconductor manufacturing) 에 모두 사용할 수 있도록 설계된 이 제품은 모든 종류의 칩 생산에 적합합니다.