판매용 중고 HANKISON PR250 #9256412

HANKISON PR250 포토 esist 장비는 모든 기판에서 고품질 광석기 패턴을 생산하는 데 사용되는 업계 최고의 트리플 스택 증발기입니다. 이 시스템은 반도체, 의료 기기, MEMS 프로젝트 등 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 완벽한 자동 PC 제어 프로세스를 통해 뛰어난 유연성과 정확성을 제공합니다. PR250 에는 기판에 대한 조정 가능한 테이블, 다양한 속도 설정이있는 스핀 모듈 (Spin Module), 내장 오버 헤드 소스 역할을하는 포토리스 (photoresist) 프로세스 전용 특수 섹션이 포함되어 있습니다. 이 장치는 3 개의 독립적 인 제어 시스템 조합을 사용하여 가스 흐름, 온도 수준, 노출 시간 간격을 정확하게 조정 할 수 있습니다. 일관되고 고성능 포토레시스트 (photoresist) 커버리지를 보장하기 위해 기계는 E-DOSE 기술을 제공하여 노출 프로파일을 완전히 제어합니다. E-DOSE (E-DOSE) 기술은 조정 가능하고 반복 가능한 변환 계수를 제공하여 원하는 노출 속도를 정확하게 재현할 수 있습니다. 빠른 냉각 시간은 방사선 유발 결함의 위험을 줄입니다. 이 도구는 또한 뛰어난 생산 수율을 위해 0-200m/min 가변 속도 제어를 제공합니다. 자산은 먼지가 없으며 부품 간 접촉을 방지하기 위해 자동 센서 (Auto Sensor) 가 장착되어 있어 먼지 오염을 방지합니다. 한키슨 PR250 (HANKISON PR250) 은 광석학 적 특성 외에도 관성 모델을 갖추고 있으며, 챔버 내부의 질소 대기를 제공합니다. 이 장비는 완벽한 입자와 산소 제어를 보장하여 이상적인 조건을 만듭니다.