판매용 중고 GCA / TROPEL Wafertrac 1006 #171562

GCA/TROPEL Wafertrac 1006은 반도체 웨이퍼의 정확한 정렬 및 처리를 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 특히 거대 한 기판 을 가공 하는 데 능숙 하며, 그것 이 시장 에서 가장 신뢰 할 만한" 시스템' 중 하나 가 되게 하는 여러 가지 기능 을 갖추고 있다. 이 장치의 코어에는 강력한 6 축 컨트롤러가 포함되어 있으며, 이 컨트롤러는 웨이퍼와 기판을 정확하게 정렬 할 수 있으며, 추가 ARM 서보 앰프 (ARM servo amplifier) 는 위치 지정 프로세스의 정확성을 향상시킵니다. 이것 은 기계 가 유리, "실리콘 ', 금속 등 여러 가지 기판 을 처리 할 수 있게 해 준다. 정확성을 보장하기 위해 GCA Wafertrac 1006에는 직경 보상 및 액츄에이터 레벨 보상을 포함한 다양한 포지셔닝 기술이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 모든 크기의 왜곡 (disortion) 과 정렬 (misalignment) 을 보완하여 재료를 보다 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 "광학 마스크 (optical mask)" 라는 기능이 있는데, 이 기능은 향상된 가장자리 검출을 제공하고 입자 오염을 방지하여 출력의 전체 품질을 향상시킵니다. 또한 TROPEL Wafertrac 1006은 고해상도 CCD 카메라로 설계되어 기판의 정확하고 정확한 위치를 제공합니다. 고해상도 이미징 (imaging) 과 검사 (inspection) 기능을 통해 정확하고 정확한 포토레지스트 (photoresist) 적용이 가능하므로 근거리 이미징과 화학 및 생물학적 제제 적용에 이상적입니다. 또한 Wafeertrac 1006에는 일련의 진동 제어 시스템 (Vibration Control System) 이 포함되어 있어 모델이 안정적이고, 소음이 없으며, 뛰어난 반복성을 제공합니다. 미립자 파편을 최소화하고 광사 물질 (photoresist material) 을 정확하게 제어 할 수있는 낮은 공기 흐름 장비를 특징으로합니다. 또한, 1006에는 정확한 자동 웨이퍼 처리, 여러 웨이퍼 캐리어 및 다양한 로봇을 지원합니다. 이는 프로세스 시간을 대폭 단축하고, 매우 높은 운영 환경에서 매우 효율적입니다. 요약하면, Wafertrac 1006은 반도체 웨이퍼의 정밀한 정렬 및 처리를 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 시스템입니다. 이 장치는 대형 기판 처리에 능숙하며 직경 보상 (diameter compensation), 액추에이터 레벨 보상 (actuator-level compensation) 등 다양한 포지셔닝 기술을 사용합니다. 또한 정확한 포토 esist 응용 프로그램을위한 고해상도 CCD 카메라와 안정적이고 반복 가능한 프로세스를위한 진동 제어 시스템 (Array of Vibration Control System) 이 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 여러 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 와 다양한 로봇을 지원하므로 초고도의 생산 환경에 이상적인 도구입니다.