판매용 중고 GALILEO 1650 #9152142

GALILEO 1650은 SUSS MicroTec에서 제조 한 정밀 포토 esist 장비입니다. 비용 효율적인 사진 분석 기술을위한 최첨단 석판 시스템을 제공합니다. 이 장치는 반도체 및 MEMS 장치, 바이오칩, 광학 부품 제작을위한 웨이퍼 (wafer) 를 만드는 것과 같은 연구 개발 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 1650 기계는 진동이없는 스캔 및 자동 레벨링을위한 고급 웨이퍼 스테이지를 갖추고 있습니다. 고급 간섭계 기반 도구를 사용하여 최대 0.2 µm 및 0.22 ° 의 정확한 위치 정밀도를 사용합니다. 에셋은 또한 초당 최대 200 단계의 높은 스테퍼 속도와 450mm x 450mm의 큰 필드 크기를 특징으로합니다. GALILEO 1650 모델에는 와퍼의 정확한 정렬 및 등록을 위해 스팟 이미징을위한 고해상도 디지털 카메라 (6 메가 픽셀) 가 장착되어 있습니다. "이미징 '장비 는 또한" 웨이퍼' 표면 을 더 잘 볼 수 있도록 "비디오 '를 찍을 수 있다. 디지털 이미징은 365nm, 436nm, 2000nm, 6x12mm 및 8x12mm와 같은 다양한 필름 형식을 지원합니다. 사용자 친화적 시스템 제어를 위한 전체 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어 제품군에는 패턴 개발, 프로세스 정의, 웨이퍼 로드 및 언로드, 노출, 자동 검사 및 유지 관리를위한 프로그램이 포함되어 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 모든 수준의 사용자에게 사용하기 쉬운 환경을 제공합니다. 또한 1650 장치에는 고효율의 ablation machine이 장착되어 있어 생산성과 생산성을 높일 수 있습니다. 절제 도구에는 최적의 결과를 보장하기 위해 온도와 방출 제어 기능이 통합되어 있습니다. 결론적으로, GALILEO 1650 photoresist 자산은 웨이퍼와 칩을 만드는 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 이 모델은 정확한 포지셔닝 정확성, 뛰어난 이미징 기능, 고효율의 ablation 장비를 갖추고 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 다양한 활용 사례에 적합한 시스템을 구축할 수 있습니다.